Zr基非晶合金超塑性成形工艺研究.pdfVIP

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2017-09-13 发布于河北
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第39卷第12期技大学学报 (自然科学版) Vol_39NO．12 2011年 12月 ofSci． Tech．(Natura1ScienceEdition) Dec． 2011 Zr基非晶合金超塑性成形工艺研究廖广兰王俊喻强朱志靖 f H (华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室，湖北武汉 430074) 峨。华唱中=雪摘要采用感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了微型硅模具，基于硅模具研究了非晶合金 zr412sT．13_sNio· 科 Cu Be。。s的超塑性微零件成形工艺．采用差示扫描量热仪测定了zr41．zTi13lsNioCuz．5Be22s的过冷液相区间为 36O～440℃，在过冷液相区间热压成形非晶合金微零件、机械研磨去除零件飞边和采用 4O 的KOH溶液腐蚀去除硅模具，得到非晶合金微型零件．自主研制了成形设备，仿真分析与实验相结合，解决了成形过程中设备的温度控制问题，比较分析了不同温度下的成形结果，实验与仿真结果符合较好．在410℃条件下成功制备出模数 0．03、齿数 66和厚度 500ffm的微型内齿轮，齿形轮廓清晰，X射线衍射仪扫描结果显示该微齿轮为非晶结构，从而验证了采用该工艺制备微型零件的可行性．关键词非晶合金；超塑性；成形工艺；硅模具；温度控制中图分类号 TG316 文献标志码 A 文章编号 1671-4512(2O11)12-0029—04 Super-plasticformingprocessofZr—basedbulkmetallicglass LiaoGuanglan WangJun YuQiang ZhuZhijing (StateKeyLaboratoryofDigitalManufacturingEquipmentandTechnology， HuazhongUniversityofScienceandTechnology，W uhan430074，China) Abstract Super—plasticmicro—formingprocessofbulkmetallicglassesZr41 Ti1375Nil0CUl25Be225uti— ． 25 ． lizingmicrosiliconmoldswasinvestigated，wherethemicro siliconmoldswerefabricatedbyinduc— tivelycoupledplasmaetching．Thesuper—cooledliquidregion，360~ 440 ℃ ，wasmeasuredbydiffer— entia1scanningcalorimeter．Micro componentswerethermoformedin thesuper—cooled liquidregion． Theflashofmicro componentswasremovedbymechanicalgrinding，andthesiliconmoldswerere— solvedwith40 KOH．Formingequipmentwasdevelopedon thebasisofthesuper—plasticprocess， andthetemperature—controlwassolvedby simulation analysisand experiments．Subsequently，the formingresultsindifferenttemperatureswereanalyzed，which confirmed thesimulation results．Fi— naily，aninternalgearwith0．03module，6