导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响.pdfVIP

第36卷 第1l期 中 国 激 光 VoI．36，No．11 2009年 11月 CHINESEJ0URNAL0FLASERS November，2009 文章编号 ：0258—7025(2009)11-306004 导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响 张大伟 袁丽萌 黄元申倪争技 陈 麟 朱亦鸣 庄松林 (上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室 ，上海 200093) 摘要 为了研究亚波长光栅表面上薄膜 的生长特性 ，以及镀膜对亚波长光栅物理特性 的影响，对亚波长正弦槽形 光栅表面上镀 的Au膜进行 了实验研究和理论分析 。实验发现 ，当光栅槽深为 80nm，Au膜为 100nm 时，薄膜 的 生长是仿形生长 ，光栅 的正弦槽形特征和周期都基本没有发生变化 ，但镀膜后 ，出现光栅 的正弦 占空 比增加、槽 的 深度减小以及槽深的均匀性变差等现象。对引起这种现象的原因进行 了分析 ，提 出了由于光栅微结构而给薄膜生 长带来的阴影效应现象 ，并分析 了正弦 占空比增加对导模共振滤光片光谱特性的影响 。 关键词 薄膜 ；亚波长光栅 ；薄膜生长 ；占空 比；正弦槽形 ；导模共振 中图分类号 TB43；0484．1 文献标识码 A InfluenceofFilm on theCharacteristicsofSub．W aveGrating ZhangDawei YuanLimeng HuangYuanshen NiZhengji ChenLin ZhuYiming ZhuangSonglin (ShanghaiKeyLaboratoryofContemporaryOpticsSystem．L iversityof Shanghaifor ScienceandTechnology，Shanghai200093，China) Abstract Tostudytheinfluenceoffilm onthecharacteristicsofsubwavelengthgrating，thegrowthof100nm Au film onthesurfaceofsubwavelengthgratingwithsinegrooveshapeand80nm groovedepthwasinvestigated．Itwas shownthatthegrowthwasprofiling copy，thesinegrooveandperiodicwerekeepunchangedalmost．Whensineduty cycle increased，thegroovedepthreducedanduniformityofgroovedepth gotworse．Theshadow effectgeneratedby themicrostructureofgratingwasproposedtoexplain thesevariations．Theeffectofsinedutycycleincreasingon the spectrum ofguidedmoderesonantfilterswasinvestigated too． Keywords thinfilms；subwavelengthgrating；film growth；dutycycle；sinegrooveshape；guided—moderesonance 1 引 言 论模拟了金属 Pt纳米催化剂薄膜的沉积 ；王彤彤 光学元件制备过程中，经常需要在光学元件表 等_6运用 电子枪蒸发纯 Ge，考夫曼离子源辅助的方 面镀上薄膜 ，以改善光学器件 的性能或实现某些特 法在 Ge基底上沉积了Ge C 薄膜 ；童杏林等 以 定的功能。薄膜有其特殊 的生长方式 ，研究其生长 较低温度烧结获得的PMN—PT块材料为靶 ，