X射线光电子能谱三维成像技术在非均匀材料中的应用进展.docVIP

X射线光电子能谱三维成像技术在非均匀材料中的应用进展 章益维1,2，张洁1,2，周环1，郑遗凡1,2（1.浙江工业大学分析测试中心，浙江 杭州 310014； 2． 浙江工业大学化学工程与材料学院，浙江 杭州 310014） 摘 要：X射线光电子能谱成像（XPS Imaging）技术可用于获得材料表面元素的分布或者化学态分布。本文总结了XPS三维成像技术在非均匀材料中的应用以及数据处理方法。文章主要针对聚合物和合金材料，以二种不同的三维成像获得方法进行分类编排，即离子溅射与传统成像结合方法，与角度关系XPS与成像结合方法。最后介绍了几种三维成像数据的处理方法。 关键词：X射线光电子能谱；三维成像；非均匀材料；离子溅射；角度关系XPS； Advances in application of 3D Imaging using X-ray photoelectron spectroscopy of heterogeneous materials1,2, ZHANG Jie1,2，ZHOU Huan1, ZHENG Yi-fan1,2 (1.Research Center of Analysis and Measurement, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014; 2. Coll