基于PA95的新型压电陶瓷驱动电源.pdfVIP

嵌入式与 SOC 微《计算机信息)2011年第27卷第12期 文章编~：1008—0570(2011)12-0058—02 基于 PA95的新型压 电陶瓷驱动电源 New piezoelectricceram icsdrivepowerbasedonPA95 (上海理工大学)王 慧 宫赤坤 王宏峰 W ANG HuiGONG Chi-·kun W ANG Hong--feng 摘要：压 电陶瓷驱动 电源是压电陶瓷微位移器应用中的关键部件。PA95是一种高压、高精度的MOSFET运算放大器 文章介 绍了一种基于PA95的新型压 电陶瓷驱动 电源，详细介绍 了电源复合放 大电路部分的设计原理并对其稳定性进行了分析 实 验表明该 电源具有精度高，驱动能力强，结构简单，稳定性好的特点，在 5kHz频率范围内有效实现5v信号到 350V的动态 放 大，最大稳 态输 出电流 120mA 关键词：压 电陶瓷：驱动电源：运算放大器 中图分类号：T721 文献标识ti-q：A Abstract：Piezoelectric ceramicdrive poweristhe keycomponentin the application ofpiezoelectric ceramic micr0一displacementde— vice．PA95 isahigh—pressureand high-precision MOSFET operationalamplifier．Thispaperintroduces anew type ofpiezoelectric ceramicdrivepowerbased OllPA95．elaborated thedetailsofthedesignprincipleofcompositeamplifiercircuitandanalyzed itssta— bility．Experimentsshow htatthepowerhashigh accuracy，strongdrivecapacity，simplestructure and good stability．Itcan effective— lyrealizethedynamic amplification ofthesignalranging5V to350 V at5 kHzfrequencyrangeand itsmaximum steady—-stateout—- putcurrentis120mA． Keywords：PiezoelectricCeramics；DrivePower；OperationalAm#ifiers 1引言 3PA95简介 压电陶瓷微位移驱动器是利用压电陶瓷在电场作用下发 PA95是一个高压、大带宽的MOSFET运算放大器。输出电流 生形变从而驱动执行元件发生微位移。它具有体积小，分辨率 达200mA，双端供电时输出电压可达450V，单端供电时输出电 高，响应快，推力大等一系列优点，广泛应用在纳米技术 、航天、精 压高达900V，安全操作区没有二次击穿的限制，通过选择合适的 密测量、微细加工 、机器人等领域。 限流电阻．可观察到任何负载下的安全操作曲线。且一个共栅输 入电路和 120dB的开环增益实现了高精度。所有的内部偏置参 2驱动电源组成 考于一个 自举齐纳二极管一 MOSFET电流源，使PA95具有很 对外加电压而言，压电陶瓷相当于电容性负载，性能 良好的 宽的电源 电压范围和很高的电源抑制比。MOSFET输 出级偏置 驱动电源是实现高精度微位移的关键。根据压电陶瓷的特性，其 成AB／模式具有很好的线性。外接补偿可使用户轻松使用PA95。 驱动电源要求在一定范围内连续可调，输出稳定性好，纹波小，分