连续激光作用下滤光片熔坑形成机理研究.pdfVIP

第 29 卷 第 5 期 应 用 激 光 V _oj． 29 。 N o． 5 200 9 年 10 月 A P P L lE D L A sE R O ctober 2009 连 续 激 光 作 用 下 滤 光 片 熔 坑 形 成 机 理 研 究 张 翠 娟 ， 付 博 ， 张 大 勇 ， 罗 福 ， 罗 飞 ， 袁 红 (中 国工 程 理 研 院 流 理 ， 四 I 62 19 00 ) 物 究 体 物 研 究 所 川 绵 阳 “ ” 53 2n m Z n S i ～ 69 0n m 提 要 长 照 S O K 9 630 在 波 连 续 激 光 辐 ／ z ／ 多 层 膜 滤 光 片 的损 伤 实 验 的 电镜 扫 描 分 析 下 观 察 到 了 熔 坑 P t 5 3 2n m n S S i ～ 的现 象 ， 根 据 这 个 现 象 建 立 了 有 杂 的 长 Z O K 9 630 69 0ri m 含 质 波 连 续 激 光 辐 照 ／ ： ／ 多 层 膜 滤 光 片 的 热 损 伤 模 型 。 结 合 温 度 场 的计 算 ， 研 究 了 5 3 2n m 连 续 激 光 辐 照 63 0 ～ 690 nm 多层 薄膜 滤 光 片 时 杂 质 周 围产 生 的 温 升 效 应 ， 通 过 对 计 算 结 果 与 实 验 结 果 的 比较 ， 分 析 了 杂 质 对 滤 光 片 薄 膜 激 光 损 伤 的影 响 。 分 析 了 连 续 激 光 作 用 下 杂 质 对 滤 光 片 的破 坏 机 制 ， 解 释 了滤 光 片 熔 坑 产 生 的原 因 。 关 键 词