彩色滤光片制程中显影液残留缺陷的改善.pdfVIP

任书铭等 ：彩色滤光片制程中显影液残 留缺陷的改善 文章编号：1006—6268(2012)03—0021—05 彩色滤光片制程中显影液残留 缺陷的改善 任书铭 1I2。郭小军 ’，范刚洪 (1．上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海 200030；2．上海广 电富士光 电材料有限公司，上海 201108) 摘 要：从生产角度分析了彩色滤光片中液晶间隔柱制造过程中遇到的显影液残留缺陷．通过EDS分 析、机台比对等多种手法，明确确定了不良缺陷发生的原因，并通过多组实验方法的对比结果，找出了控 制显影液残留的最佳方法。 关键词 ：彩 色滤光片；液晶间隔柱；EDS分析 中图分类号 ：TNI41 文献标识码 ：B TheImprovementofPSRemainsDefectinCFProcess RENShu-ming’，GUOXiao-jun’，FANGang-hong (1．SchoolofElectronicInformationandElectricalEngineering。ShanghaiJiaoTong University，Shanghai200030，China；2．SVA-FUJIFILM Opto—ElectronicMaterialsCo．， Ltd．，Shanghai201108，China) Abstract：Accordingtomassproduction，the PS RemainsDefectinCFProcess hasbeen analyzed．ByEDS analysis，machinecomparison andothertechniques，the causesofPS RemainsDefecthasbeenstudied．Thenthroughmulti——groupcomparisonoftheresultsof experimentalmethods，wefindthebestwaytocontrolthePSRemainsDefect． Keywords：colorfilter；photospace(ps)；EDSanalysis 引 言 证彩色滤光片 的合格率关系到公司的竞争力和利 益。我们研 究了显影液残 留现象 ，研究 了其产生 的 目前 ，平板显示 已经成为显示产业 的主角 ，其 原 因，通过多组实验结果 ，提出了改善方案，提高 了 中最成功 的为 TFT—LCD显示技术 ，它具有功耗 彩色滤光片 的合格率。 低 、外形薄、重量轻等特征 ，已占平板 电视销量 的 80％以上…。而彩色滤光片 占TFT—LCD所有制造 1 显影液残 留 成本 的 20％ 以上 ，高 品质 的 彩 色 滤 光 片 对 TFT—LCD 的色彩表现具有决定性 的影响 】，所 以保 液晶间隔柱 ，简称 PS，其工序是彩色滤光片工 收稿 日期：2012—02-09 Mar．2012，总第134期 现代显示AdvancedDisplay 21