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常压化学气相沉积法制备Ti5Si3薄膜及其镀膜玻璃.pdfVIP

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  • 2017-09-13 发布于湖北
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常压化学气相沉积法制备Ti5Si3薄膜及其镀膜玻璃.pdf

    第 37 卷第 10 期 硅 酸 盐 学 报 V 0 1． 37 ， N o． 10 2 009 年 1 0 月 J O U R N A L O F T H E C H IN E S E C E R A M IC S O C IE T Y O ctob 20

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