高纯度丙酮的制备方法研究.pdfVIP

科 技 创 新 2012~E5月(上)I科技创新与应用 高纯度丙酮的制备方法研究 梁 凯 (黑龙江省化工研究院，黑龙江 哈 尔滨 150076) 摘 要：本研究方法是通过特制的吸附塔 (内含特质吸附剂)、干燥塔、蒸馏塔和微孔过滤处理，可将丙酮含量 由99．5提高到 99．9％，蒸馏残渣为0．0005％，含水量≤O．2％，该产品可以满足 IC工业应用的要求。 关键词：丙酮；吸附塔；吸附剂；干燥塔；精馏塔；微孔滤膜 1前言 更换之后，在进行干燥处理。3))l哿上述经干燥后的丙酮，注人精馏塔内进 随着半导体技术的高速发展，对超净高纯试剂的要求越来越高。在 行精馏，利用导热油加热，控制不锈钢釜底温度 100％，釜内丙酮液体温 集成电路(Ic)加工过程中，超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆片表面的 度61℃，出液温度55％，控制回流比13．出液。(前馏分作进一步处理)。41 清洗和刻蚀，其纯度和清洗度