基于无基底焦平面阵列红外热像仪的理论模型分析鄢.pdfVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援缘 渊圆园员员冤摇 园缘源源园员 基于无基底焦平面阵列红外热像仪的理论模型分析鄢 蒋兴凯摇 张青川 摇 史海涛摇 毛摇 亮摇 程摇 腾摇 伍小平覮 渊中国科学技术大学袁中国科学院材料力学行为和设计重点实验室袁合肥摇 圆猿园园圆苑冤 渊圆园员园年远月员怨 日收到曰圆园员园年愿月圆源 日收到修改稿冤 摇 摇 基于双材料微悬臂梁热变形原理的光学读出非制冷红外探测阵列经历了从有基底结构向无基底结构的发展 过渡袁无基底阵列的红外成像结果和有限元模型分析均表明无基底阵列不满足恒温基底条件援本文结合电学比拟 的方法袁提出了一种新的基于无基底焦平面阵列渊枣燥糟葬造责造葬灶藻粤则则葬赠袁云孕粤冤的热传递分析的理论模型援分析采用整体 考虑的思路袁避开了无基底云孕粤阵列各单元热传递互相影响所产生的复杂热分布分析袁并考虑了框架对热量的吸 收与传递援理论模型采用外边框与环境等温的边界条件袁虽不及有限元方法对边界条件的处理灵活袁但也已取得与 实验一致的计算结果袁可以用作为计算无基底云孕粤响应的近似公式援同时袁该理论模型避免了有限元建模计算的繁 琐袁在大阵列下计算尤为便捷袁而且还能根据响应要求计算无基底云孕粤应具备的像素尺寸袁实现云孕粤反向设计与 优化援 关键词院光学读出袁无基底袁非制冷红外成像袁焦平面阵列 孕粤悦杂院源源援员园援垣蚤袁园苑援缘苑援原糟袁园苑援远园援原躁袁园圆援苑园援阅澡 阵列袁最终的 云孕粤 阵列悬在单晶硅基底上方圆要猿 员郾 引 言 滋皂处袁利用锚接点支撑于硅基底上援与电学读出方 式类似袁这种结构的 云孕粤 阵列也可考虑为恒温基 非制冷红外热成像技术由于其成本低尧体积 底袁各像素互相热隔离袁对此建立了恒温基底理论 咱员暂 模型计算云孕粤阵列响应咱愿暂 袁得到了与实际响应较为 小尧能耗小等优点而受到越来越多的关注 袁其读 出方式分为电学读出与光学读出援 电学读出红外热 一致的结果援这种恒温基底理论模型也可用电学模 像仪的焦平面阵列需在硅基底上制作微读出电路袁 型加以比拟袁以电路的方式模拟传热的过程咱怨暂援光 通过电路读出探测单元温升引发的电学效应从而 学读出系统中袁云孕粤 的正面需镀上一层反光材料 得到红外辐射的信息咱圆暂援这种模型的基底热容远大 渊粤怎冤将微梁变形量转化为光强变化咱员园暂援红外辐射 于探测单元袁因此可在热学模型上考虑为恒温基 只能从背面穿过硅基底到达云孕粤 吸收板上袁硅基底 底袁各探测单元彼此独立援随着酝耘酝杂工艺的发展袁 的存在造成了缘园豫的红外能量损失援 同时袁圆滋皂左 基于光学读出的非制冷红外成像技术上世纪怨园 年 右的梁与硅基底的间隙使得空气层的热传导影响 代后期被提出咱猿暂援这种新型红外成像技术利用双材 变得显著咱员员暂 袁并且微梁单元和基底之间的间隙很容 料微悬臂梁受热变形原理袁将探测单元吸收的热量 易造成微梁和基底的黏连现象袁使得整个结构失 转化为微梁的转角袁并经由读出光路获得物体的红 效援为了解决该问题袁我们提出了无基底 云孕粤结构 外热图像援 由于不需要在感热单元中引入读出电 并实现其制作袁解决了上述困难咱员圆暂援 由于云孕粤 阵列 路袁其焦平面阵列渊云孕粤冤的制作难度大大降低援 没有基底的存在袁框架本身也有温度上升袁从而提 美国月藻则噪藻造藻赠大学尧晕蚤噪燥灶公司尧美国韵葬噪砸蚤凿早藻 高了吸收板的温度升高袁加大了 云孕粤 的变形援在设 国家实验室均利用光学读出双材料微悬臂梁阵列 计制造的圆园园滋皂袁员圆园滋皂及远园滋皂尺寸的云孕粤 阵 得到了红外热图像咱员袁猿要苑暂援在云孕粤