射頻濺鍍鑭鈣錳氧薄膜特性研究及其光偵測元件應用Propertiesand.pdfVIP

射頻濺鍍鑭鈣錳氧薄膜特性研究及其光偵測元件應用 Properties and Optical Detection of La-Ca-Mn-O Films by RF Sputtering 摘要 本研究以射頻濺鍍方式成長鑭鈣錳氧薄膜，實驗發現，高溫退火處理對薄膜表面 形態及電、磁特性均有影響。以光微影蝕刻方式製作元件，使用經調制之氦氖雷 射作為光源，量測其光偵測特性。結果顯示，其偵測信號隨偏壓電流增加而提升， 具有線性關係。整體評估，鑭鈣錳氧薄膜作為光偵測元件深具潛力。 壹、前言 鑭鈣錳氧 (La-Ca-Mn-O)是 一具有磁阻效應之材料，所謂磁阻 (Magnetoresistance Ratios) 定義為[1] R (H ) [R (H ) R (0)] (1) R (0) R (0) 其中R(0)是無外加磁場下之電阻，R(H)則是外加磁場下之電阻。 La-Ca-Mn-O 之原始組成化合物 LaMnO 是鈣鈦礦結構 (Perovskite) ，是具有反 3 鐵磁(Anti-ferromagnetic)特性之絕緣體(Insulator) 。在LaMnO3 組成中，La 和 Mn 是三價離子，若以 Ca 、Sr 、Ba 等二價離子取代部分之La 形成La A MnO時， 1-x x 3 3+ 4+ 則 Mn 變成同時具有三價 Mn 和四價 Mn 存在之狀態。在適當的取代範圍內 (0.2x0.4) ，材料變成具有鐵磁特性(Ferromagnetism) ，及導電特性(Conductive) 。 此一因取代作用促使電、磁特性轉變之現象，Zener[2] 提出了所謂雙重交換 機制(Double Exchange)加以解釋。鈣鈦礦結構錳氧化物 LaMnO中，Mn被週遭八 3 個 O所包圍而形成 MnO6 八面體結構。當以Ca 、Sr 、Ba 等二價離子取代部分之 3+ 4+ 3 1 3 0 La時， Mn 和 Mn 之價電子組態分別為 t e 和 t e ；其中t 軌道上之電子 2g g 2g g 2g 2- 被局域化(Locoalized) ，無法自由移動。e 軌道上之電子則非局域化，可以 O 為 g 3+ 4+ 3+ 橋樑在 Mn 和 Mn 之間自由移動使材料具導電性。然而，導電率深受 Mn 和 4+ Mn 之磁矩排列方向一致程度所影響。Anderson[3]提出了 Transfer Integral 之公式 3+ 4+ 來計算電子在Mn 和 Mn 之間跳躍(Hopping)之機率，公式如下  t t 0 cos( ij ) (2) ij