毫米波MEMS开关自激励机理实验验证结构的模拟与设计.pdfVIP

第41卷第5期 东 南大 学 学报 (自然科学版) Vo1．41 No．5 2011年 9月 JOURNALOFSOUTHEASTUNIVERSITY (NaturalScienceEdition) Sept．2011 doi：10．3969／j．issn．1001—0505．2011．05．006 毫米波 MEMS开关 自激励机理 实验验证结构 的模拟与设计 肖建斌 廖小平 周 易 (东南大学MEMS教育部重点实验室，南京210096) 摘要：提出了一种新型的毫米波MEMS开关 自激励机理的实验验证结构，该结构由一分四功率 分配器和5个相 同开关形成的阵列组成．通过 CSTMicrowaveStudio和HFSS电磁仿真软件完 成了一分四功率分配器和开关阵列的设计．在频率为35GHz时，一分 四功率分配器的4个输出 端 口的隔离度小于一48dB，同时由于结构的对称性，4个输出端 口具有等分功率的性质．这2个 特性对开关 自激励机理的实验验证的功能实现至关重要．设计的毫米波MEMS电容式并联开关 在35GHz的插入损耗为0．076dB，隔离度为 一55dB；设计的毫米波MEMS直接接触式串联开 关在 35GHz具有0．14dB 的插入损耗和 一25dB隔离度． 关键词：毫米波；MEMS开关；自激励 ；实验验证 中图分类号：TN602 文献标志码 ：A 文章编号：1001—0505(2011)05-0923-06 Simulation and design ofstructureforexperimentalverification ofself-actuation ofmillimeter．waveM EM Sswitch XiaoJianbin LiaoXiaoping ZhouYi (KeyLaboratoryofMEMSofMinistryofEducation，SoutheastUniversity，Nanjing21~96，China) Abstract：A new typeofstructureforexperimentalvefificationofself-actuationofmillimeter—wave MEMSswitchispresented．Thestructure．Which isdesignedusingelectromagneticsimulation soft． wareCST M icrowaveSutdioandHFSS．consistsofafour—waypowerdividerandna array offive sameswitches．Theinputsignalisequallydividedintofouroutputsignalsinthefour—waypowerdi— viderduetothe structuresymmetry，whiletheisolation between nay two outputpOrtsislessthan 一 48dB at35GHZ．Thesetwocharacteristicsraeimportanttohterealization ofhtefunctionofhte strucutre．Thedesignedmillimeter—waveMEMScapacitiveshuntswitch has0．076dB insertionna d 一 55dB isolation at35 GHz．whilethedesignedmi llimeter．wave MS DC—contactseriesswitch has0．14dB insertion and 一25dB isolation atthat~equency． Keywords：mi llimeter-wave；MEMS switch；self_acutation；experimentalverification 自激励现象是制