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第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
年 月 ,
‘
化 学镀 镍对 基 陶瓷 效应 影 响 的机 理研 究
陈万 平 李 龙 土 桂 治轮 齐建全 王 德君
清华大 学材 料 科 学 与工 程 来 北 京
摘 要
本文通过对 比实验, 研 究了化学镀镍对于 效应影 响 的机理 结果表 明, 对 于某
、
些致 密 的 半导体 陶瓷, 化 学镀镍后 其室 温 电阻变 小 升 阻 比下 降不是 由于镀 液 的渗
透, 而 是与镀 镍过程 中发生 的化学反应 有关 首 次提 出 了化 学镀 过 程 中产生 的初生 态 氢
原子影 响 效应 的观 点
关 键 词 化学镀, 陶瓷, 效应
弓言
‘
电镀和 化学镀在 电子工业 中有着 广 泛 的应用 【】 由于 镍 可与 以 为基 的半导体 陶
瓷形成 良好 的欧姆接触, 化 学镀镍是 目前 器件 实 用 中采 用 最 多 的一种 电极形成方法
【」
化 学镀 往有较大 的影 响, 使 材料 的升 阻 比下 , 正温度 系 小
对 效应往 降 数变
一般认 为这 是 由于镀 液 向瓷体 内部渗透 , 在 瓷体 中形 成 了一个并联 的旁路 电阻 引起 的
了 影 , , 现
为 减 小镀 液渗透 的 响 我 们制造 出十分致密 的 陶瓷 发 化学镀对其 效
应仍存在 十分严重 的 负面影 响 为 了研 究除 了镀 液 渗透之外化 学镀对 于 效应是否还有
其 它影 响原 因, 我 们设计 了一个对 比实验 结果表 明, 对于致 密 的 样 品, 化学镀镍后
其 室
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