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第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ６ 　 Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．６ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００９ ６ Ｊｕｎ．２００９ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０６１２９３０７ 　 Ｏｖｅｒｌａｔｉｎ 工艺过程的变网格数值模拟 ｐ ｇ 朱学林，王 翔，褚家如 　 （中国科学技术大学 光学精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 ２３００２６） 摘要：考察了ｏｖｅｒｌａｔｉｎ 工艺中不同线距、线宽条件下的电沉积规律。利用数值模拟方法对图形结构轮廓和电沉积速 ｐ ｇ 度之间的相互影响进行了分析，同时采用变网格方法来适应电沉积过程中结构轮廓的不断变化。数值模拟结果表明：当 线距／线宽较大（ ）时，相邻图形的电沉积速度受到的影响很小，图形的横向和纵向的电沉积速度逐渐趋于一致；而当 ＞１２ 线距／线宽较小（ ）时，相邻电沉积图形之间相互影响显著，线距／线宽越小，纵向电沉积速度和横向电沉积速度之比越 ＜６ 大，因此相邻电沉积图形中间区域可能产生空洞，从而出现电镀缺陷的情形。对于上述工艺缺陷，可以通过增加辅助导 电层进行消除，实验结果表明效果良好。 关 键 词： ； ；变网格；模具 ｏｖｅｒｌａｔｉｎ ＵＶＬＩＧＡ 　 　 ｐ ｇ 中图分类号： ： 文献标识码： ＴＮ４０５ＴＮ３０５ Ａ 　　 犖狌犿犲狉犻犮犪犾狊犻犿狌犾犪狋犻狅狀狊狅狀狅狏犲狉犾犪狋犻狀 犫 犱犲犳狅狉犿犲犱犿犲狊犺犲狊 狆 犵 狔 ， ， ＺＨＵＸｕｅｌｉｎ ＷＡＮＧＸｉａｎ ＣＨＵＪｉａｒｕ ｇ （犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犪犮犺犻狀犲狉 犪狀犱犘狉犲犮犻狊犻狅狀犐狀狊狋狉狌犿犲狀狋犪狋犻狅狀， 狆 犳 狔 ， ， ） 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 狅 犆犺犻狀犪犎犲犲犻２３００２６犆犺犻狀犪 狔 犳 犵狔 犳 犳 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｈｅｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｄｅｏｓｉｔｉｏｎｉｎａｎｏｖｅｒｌａｔｉｎ ｔｅｃｈｎｏｌｏ ｗａｓｅｘｌｏｒｅｄｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｌｉｎｅ ｐ ｐ ｇ ｇｙ