多线切割晶体表面质量研究.pdfVIP

IC制造设备与工艺 · 电 子 工 业 专 用 i殳备 ■ · 多线切割晶体表面质量研究 徐旭光，周国安 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京东燕郊 101601) 摘 要 ：多线切割机切割过程 中受到砂浆、温度、线速度 以及进给速度等方面的影响，对晶体的 表面质量有一定的影响。从多方面进行分析研究，并提 出改进工艺方案。 关键词：多线切割；晶体 ；表面质量 中图分类号：TN305．2 文献标识码 ：A 文章编号：1004—4507(2008)11-00200·3 StudyontheSurfaceQualityDuringtheWire-sawSlicing XUXuguang，ZHOU Guoan (The45thResearchInstituteofCETC，EastYanjiao，Beijing101601，China) Abstract：W henth