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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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!# 和! # 薄膜的微观结构分析!
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张晨辉 雒建斌 李文治 陈大融
（清华大学摩擦学国家重点实验室，北京 ###$% ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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使用 射线衍射（ ）、射线光电子谱（ ）、高分辨透射电子显微镜（ ）和原子力显微镜（ ）多种
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观测手段分析了 薄膜和 纳米复合薄膜的微观结构 实验分析证明 薄膜是由直径为 —
056 05 .5 6 8 05 .5 6 ’
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的纳米晶 和非晶 相构成，并且 薄膜的表面粗糙度小于相同条件下制备的 薄膜，在
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薄膜体系的自由能中引入界面能的概念，在此基础上分析了体系中 晶粒的取向问题
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关键词：纳米复合薄膜，自由能，表面粗糙度， ，
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