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第 卷 第 期 光学 精密工程
１７ １１
Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．１１
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００９ １１ Ｎｏｖ．２００９
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００９１１２７３８０６
基于线电极原位制作的微细电解线切割加工
１ ２
王 昆 ，朱 荻
（ 同济大学 机械工程学院，上海 ；
１． ２０００９２
２．南京航空航天大学 机电学院，江苏 南京 ２１００１６）
摘要：微细电解线切割加工是一种微细加工新方法。为了提高加工精度，该方法将微米尺度线电极的制作与后续加工集
成在一个工艺系统中完成，进行了基于线电极原位制作的微细电解线切割加工技术的研究。从理论上分析了线电极直
径大小对微细电解线切割加工精度的影响，提出了原位制作微米尺度线电极的方法，并制作出直径为 ５ ｍ的钨丝线电
μ
极。通过试验，加工出缝宽为 ２０ ｍ左右的微型桨叶结构和曲率半径在 １ ｍ以下的微细尖角结构。试验结果表明：线
μ μ
电极的原位制作技术能提高微细电解线切割的加工精度，工艺兼容性好，能满足微米尺度微细结构的加工要求。
关 键 词：微细电解线切割加工；线电极；原位制作
中图分类号： 文献标识码：
ＴＧ６６２ Ａ
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