国内外特种气体吹洗系统及其应用!.pdfVIP

第 卷第 期 低温与特气 5 4 rRes5NRs4 年 月 55 3 tRj-\Zk\^WbY^\WSfuk\_VWebgOW]\] 0YTs55 综述评论 ! 国内外特种气体吹洗系统及其应用 蒋仲先 王 君 光明化工研究设计院 辽宁大连 # $$%’$ 摘要 阐述了吹洗系统在特种气体贮存 输送 使用过程中的重要性 介绍了稀释和置换两种吹洗方法 操作步骤 * * * * 优缺点对比及其国内外现状 并对今后的发展提出了建议 + + 关键词 吹洗系统 吹洗目的 方法 步骤 性能对比 国内外现状 , * * * , 中图分类号 文献标识码 文章编号 -.// 0 $12134#5542$24 6789:;?;@8@ABCD86@8E;FG:@H77:9;:IF ;JIE8;FGHKCI;G LM0NOPQRST2UVWSX0NOLYS #OYWSTZVST[\]\W^_Q‘a\]VTSMS]bVbYb\RcdQ\ZV_WeMSfY]b^gaWeVWS$$%’$dQVSW HK@C;9hi\^iV\jbQ\VZkR^bWS_\RcbQ\kY^T\]g]b\ZWkkegcR^]bR^WT\VSTb^WS]c\^VSTWSfWkkegVSTRc]k\_VWebg TW]\]lMSb^RfY_\fbjRkY^T\Z\bQRf]Rk\^WbVRSWe]\mY\S_\TRRfS\]]WSff\c\_bcR^fVeYbVRSZ\bQRfWSf fV]keW_\Z\SbZ\bQRfbQ\k^\]\Sb_RSfVbVRS]WbQRZ\WSfWn^RWfl0SfbRk^RkR]\fbQ\cYbY^\f\i\eRkVSTfV^\_bVRSl , , , , , o8pICG@kY^T\]g]b\ZkY^kR]\Z\bQRf]\mY\S_\k\^cR^ZWS_\_RSb^W]bbQ\k^\]\Sb_RSfVbVRS] 前 言 $ 吹洗目的 5 随着微电子工业 环保事业等高新科学技术的 * 发展 需要的特种气体品种越来越多质量要求也越 特种气体在输送 使用过程中如出现泄漏时 会 * 来越高 而这些气体大都是高纯 高洁净 有毒 易 对设备和人身安全造成损害 而一旦混入废气时 又 + * * * 燃 易爆 强腐蚀气体 如磷烷 硅烷 砷烷 氯 会对产品质量造成不良影响 为此必须对下述三种 * * , * * * 化氢 硫化氢等 为了确保这些气体在贮存 输送 工况下系统中的废气进行吹洗 * + * * + 使用过程中的安全可靠 不仅对其有关的容器 阀 系统初次使用时 吹除系统中的空气 防止 * $s + 门 管道 减压器等元件提出了特殊要求 而且还 空气中的水和氧与工艺气混合形成强酸和其它腐蚀 * * 派生出由这些元件组成的独特的专门技术即吹洗技 性物质 否则不仅影响工艺气本身质量 也会导致 + 术 形成了吹洗系统新门类 国外各家著名特气公 阀门 减压器 过滤器等元件的损坏 + + * * + 司如英国 公司 美国 公司等早就对该 吹除更换工艺气瓶后 输送管道内的空气 qhd * r\^VceR 5s 系统进行了专门试验研究 技术已相当成熟 并与 作用同前 + 特气产品进行了系列化配套应用 而我国在这方面 吹除更换工艺气瓶前 系统中的残余工艺 + ’s 的应用研究则刚刚起步 并长时间停滞不前 特别 气 以防这些气体逸出后对设备和操作者带来的危 + + 是在全自动化方面的产品 至今还是空白 全部依 害 + 赖进口 为促进我国电子工业的发展 特气吹洗系 + 统的研制工作 已成为当务之急 + 收稿日期 ! 552/2$4低温与特气 第 卷 9 该方法的操作方法比较简单 只要按图示分别 吹洗方法和步骤 # ! 控制吹洗阀 排放阀和出口阀的开启及关闭即可 反复稀释法 !$ 吹洗方法有置换法和稀释法两种 前者多用于 该方法就是将被吹洗的密封区间充入一定压力 要求不高场合 由手工进行操作 后者多用于要求 # # 的清洗气 憋压稀释 然后借助真空发生器 文氏 # # 较高场合 可进行手工和远距离自动操作 现分述 # 管 产生的负压将稀释气迅速抽出并排放 反复进 # 如下 行 次 每次 从而使密封区间内的废 :%9 # 6:%93# 置换吹洗法 !$% 气浓度逐渐降低 达到满意的清洗目的 该系统有 # # 如图 所示 这是目前我国多采用的方式 它 % # 手动和全自动两种 现分述如下 # 是借用稳定的吹洗气 一般为 气 一次性缓慢地 ’ 将管路中的废气置换出去 不难看出该方法是无法 将气瓶出口处一段管道中的废气吹除掉的 同时各 # 元器件内死角部分的废气也很难彻底置换干净 图 手动稀释法吹洗系统 国内试制 !