尺蠖型压电驱动器的闭环控制.pdfVIP

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  • 2017-09-13 发布于重庆
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第 卷 第 期 光学 精密工程 16 9   Vol.16 No.9              O ticsandPrecisionEnineerin          年 月   p g g 2008 9 Se.2008       p 文章编号 ( ) 1004924X200809172705  

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