磁控溅射制备TiCN复合膜的微结构与性能.pdfVIP

第 22 卷第 11 期 中国有色金属学报  2012 年 11 月  Vol.22 No.11  The Chinese Journal of Nonferrous Metals  Nov. 2012  文章编号：1004­0609(2012)11­3123­06  磁控溅射制备 TiCN 复合膜的微结构与性能 许俊华，曹 峻，喻利花  (江苏科技大学 江苏省先进焊接技术重点实验室，镇江 212003)  摘 要：通过磁控溅射技术制备一系列不同石墨靶功率的 TiCN 复合膜。分别利用 X射线衍射仪、纳米压痕仪和 高温摩擦磨损仪研究薄膜的微观结构、力学性能及室温和高温摩擦磨损性能。结果表明：随着石墨靶功率的增加，  TiCN(111)峰逐渐宽化，晶粒尺寸逐渐减小，薄膜最后接近非晶结构。薄膜的硬度与弹性模量呈先增大后减小的趋 势，在石墨靶功率为 90 W 时薄膜的硬度和弹性模量最大，分别为 28.2和 230 GPa。随着石墨靶功率的增加，室 温下 TiCN 复合膜的摩擦因数逐渐减小，TiCN 复合膜的耐磨性能明显提高。当环境温度升高到 300~500  ℃时，  TiCN 薄膜的摩擦因数明显增大。TiCN 复合膜的摩擦磨损性能受薄膜微观结构、空气中的水蒸气和氧气及环境温 度等一系列因素的影响。 关键词：TiCN 膜；磁控溅射；微结构；力学性能；摩擦；磨损 中图分类号：TG174.44；TG148  文献标志码：A  Microstructureand properties of  TiCN composite films prepared by magnetron sputtering  XU Jun­hua,CAO Jun, YU Li­hua  (Key Laboratory of Advanced Welding Technology, Jiangsu University of Science and Technology,  Zhenjiang 212003, China)  Abstract: A series of TiCN nano­composite films with different powers of graphite target were prepared by magnetron  sputtering technique. The microstructure and mechanical properties and friction and wear properties at room and high  temperature  of  the  films  were  investigated  by  X­ray  diffractometer,  CSM  nano­indentation  and  high­temperature  ball­on­disc tribometer. The results show that with the increase of the power of graphite target, the peak of TiN(111)  becomes broad while the size of the grain becomes small, and the structure is close to the amorphous structure eventually.  Along with carbon join, the films are hard and the