电晕放电纳米碳管气敏传感器的实验研究.pdfVIP

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2017-09-12 发布于重庆
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电晕放电纳米碳管气敏传感器的实验研究.pdf

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浙江大学学报!工学版第卷第期 ! ! ! ! ! =(-!?(# ! # 年月 ! ’()*+,-(./013,+ 5+361*738 :+ 3+11*3+ ;31+1 2 4 9 4 4 @, $%% $%% # 9 电晕放电纳米碳管气敏传感器的实验研究 $ $ 吴莉莉 !惠国华 !潘敏 !陈裕泉 !李婷 !张孝彬 ! ! 浙江大学生物医学工程与仪器科学学院%浙江杭州 $ L%%$ 浙江大学材料科学与化学工程学院%浙江杭州 # $ L%%$ 摘要#基于气体电晕放电原理%利用纳米碳管独特的物理结构和尖端发射效应%提出了一种新型的纳米碳管离子 ! 型气敏传感器采用阳极氧化铝模板法生长的定向纳米碳管阵列所构成的传感器%其纳米碳管和电极是一体的%简化了器件结构和工艺在外加直流电压的激励下%纳米碳管顶部形成很强的非均匀电场%在电压相对低的情况下能很容易地电离气体%根据气体的击穿电压和放电电流来实现对单一气体和确定性组合气体的检测实验中还分析了温度’湿度对传感器的影响%对该传感器的性能也作了评价实验结果表明%该传感器具有选择性好’体积小’响应时间快’灵敏度高’稳定性好’室温操作等优点%而且实现方便%操作简单%有较大的实用价值关键词#纳米碳管$电晕放电$气敏传感器$击穿电压$放电电流中图分类号# 文献标识码# 文章编号# # MN$$ O %%F ELP $%%%# %L$ %! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! DP +(.’0/#028 -$,/+4-’’/’-024 / * 6 ) ’-+4/8-’,-+-’/8(,G/+ ) $ $ % % % % % c5 U3H-3 T5QR)(H0), NO? @3+ ST:? Y)H),+ UQM3+ /TO?R P3,(HX3+