基于超短激光的光纤微加工人机界面设计.pdfVIP

第 32卷第 6期 应 用 激 光 Vo1．32，No．6 2012年 12月 APPLIED LASER December2012 基于超短激光的光纤微加工人机界面设计 李治勇， 戴玉堂， 徐刚， 肖翔，赵前程 (武汉理工大学光纤传感技术国家工程实验室，湖北 武汉 430070) 摘要 为了实现对光纤微加工过程的 自动控制，在研究了157nm超短波长激光和飞秒超短脉冲激光的工艺规划基础上，开发 了超短激光微加工的数控 自动编程系统，即人机交互界面。该编程系统可以自动生成数控指令代码，用于工作台以及激光的辅 助控制。人机界面可以根据选择的加工形状，模拟仿真加工的全过程，并能预测加工结果，以提高加工效率。该系统能够满足不 同光纤微mI的实际需求。 关键词 激光； 人机界面； 自动编程； 光纤微加工 中图分类号：TN249 文献标识码：A doi：lO．3788／A523 TheM an-M achineInterfaceDesignBasedonUltrashortLaserSOpticalFiberM icromachining LiZhiyong，DaiYutang， XuGang， XiaoXiang， ZhaoQiancheng (NationalEngineeringLaboratoryofFiberopticSensingTechnology，WuhanUniversityofTechnoloyg，Wuhan，Hubei430070．China) Abstract Inordertoachievetheautomaticcontroloftheopticalfibermicro-machiningprocess，Itisbasedonthestudyofthe157 nmultrashortwavelengthlaserandthefemtosecondultrashortpulselaser％processplanning，theultrashortlasermicro-machining CNC automaticprogrammingsystem isdeveloped，namelytheman—machineinterface．Theprogrammingsystem can automatically generate theCNC instruction codefortheassistcontroloftheworkbench and the laser．Man-machineinterface can simulate machiningprocessoftheselectedshape．Itcanalsopredicttheprocessingresultofrimprovingtheprocessingefficiency．Thesystem canmeettheactualneedsofdifferentopticalfibermicro-machining． Keywords laser： man-machineinterface； automaticprogramming； opticalfibermicromachining O 引言 VisualBasic开发工具和Matlab软件开发了超短激 超短激光技术是一种广泛应用的前沿技术，是 光微加工的数控 自动编程系统。实现了对光纤微加 理想的超精密微加工手段之一。超短激光朝着波长更 工的自动编程、模拟仿真和结果预测等功能，具有 短或脉冲更短的方向发展，在这两个方向中 157nm 较好的推广应用价值 。 准分子激光和飞秒激光最具代表性1--『2]。157nm准分 1 人机界面总体框架 子激光具有较高的单光子能量，对材料的热影响极小， 超短激光微加工人机界面的总体框架模型如 刻蚀精度高3