基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮工作台的定位噪声.pdfVIP

第 2O卷 第 12期 光学 精密工程 Vo1．2O No．12 2012年 12月 OpticsandPrecisionEngineering Dec．2012 文章编号 1004—924X(2012)12—2704—08 基于腹底式被动阻尼器抑制精密气浮 工作台的定位噪声 张 山¨，王 雷 (1．山东科技大学 电气信息系，山东济南250031； 2．哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要 ：针对 已开发的精密直线气浮工作台，设计 了腹底式被动结构的阻尼器 以解决静压气浮导轨传动阻尼小，抗干扰能力 差等问题。设计的阻尼器 由固定于气浮滑套下端面的阻尼片以及处于阻尼片正下方的阻尼油槽和阻尼油组成。通过实验 获取了阻尼器的阻尼系数，继而建立了气浮工作台机电控制模型。仿真分析了阻尼器对工作台气浮噪声和动态特性的影 响规律：随着阻尼的增大，气浮工作台的稳定裕度和衰减噪声的能力增加，但动态响应速度降低。实验表明，实验结果与所 推导的气浮工作台特性一致，且增加阻尼系数为293．78N／m ·S 的阻尼器后，气浮工作台的定位噪声由60nm(峰峰值) 降为 2Onm(峰峰值)，位移灵敏度为 20nm，实验验证了采用此种结构的阻尼器可有效抑制精密气浮工作台定位噪声。 关 键 词：气浮工作台；气浮导轨；定位噪声；阻尼器 中图分类号 ：TP274：TH703 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2704 Suppressionofpositioningnoiseofprecision airbearing stagebasedon abdom inalandpassivedamper ZHANG Shan“。W ANG Lei (1．DepartmentofElectricalEngineering InformationTechnology。 ShandongUniversityofScience Technology，Jinan250031，China； 2．InstituteofUltra—precisionOptical ElectronicInstrumentEngineering。 HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) *Correspondingauthor，E-mail： n g 以212@g／mail．COrn Abstract：Anabdominalandpassivedamperwasdevelopedandinstalledonanestablishedprecisionair bearingstagetoovercomethedefectsofanaerostaticguidesuchaslesstransmissiondampandeasier susceptibility．Thedamperisconsistedofadampingdiskfixedinthebottom ofaerostaticguideandan oilgroove directlyunderthedisk．Thedamping coefficientwasobtainedbyrecommended experi— ments。andanelectromechanicalcontrolmodeloftheairbearingstagewasestablishedtodescribethe influenceofthedamperon thepositioningnoiseand dynamiccharacteristicofthestage．Numerical simulationresultsindicatethatthestabilitymarginandnoisesuppressiondegreebecomemuchbig