磷锗锌单晶生长装置的设计与优化.pdfVIP

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磷锗锌单晶生长装置的设计与优化* 赵 .欣 (中国民航飞行学院 研究生处,四川 广汉 618307) 摘 要 :根据磷锗锌 (ZnGeP。)晶体的生长特性 ,分析 了ZnGeP。单晶生长对生长炉温场的要求。在 两温区单晶生长炉的基础上 ,设计 出适合 ZnGeP。单晶生长的三温区管式生长炉,并对其温场进行 了设计 与优化 。在经优化的温场中进行 ZnGeP 单晶生长,获得 了尺寸达 20mm×30rnm、外观完整的单晶体 。 关键词 :磷锗锌 ;晶体生长;三温 区;温场设计 中图分类号 :TB34:O 782 文献标志码 :A DesignandOptimizationonGrowthFurnaceofZnGeP2SingleCrystal ZHA0 Xin (GraduateDepartment,CivilAviationFlightUniversityofChina,Guanghan618307,China) Abstract:Thetemperature—fieldrequirementsforZnGeP2crystalgrowthhavebeenanalyzedaccordingto itscharacteris— ticsOnthecrystalgrowthprocess.A crystalgrowthfurnacewith three-temperature—zonehasbeendesignedandfabricated basedonaconventionalverticaltwo—zonetubularresistancefurnace.Thetemperature—fieldofthedesignedfurnacehasbeen testandoptimized.AnintegralZnGePzsinglecrystalwithasizeof≠20mm ×3Omm wasobtainedundertheconditionopti— mizedfrom abovetemperature—fieldtest. Keywords:ZnGeP2,Crystalgrowth,Three-temperaturezone,Temperaturefielddesign ZnGeP (ZGP)晶体是性能优异 的红外非线性 当满足以下条件 。 光学 晶体材料 ,具有典型的 II_IV_V2黄铜矿型结 1)高温 区 构 。其突出特点是双折射率大 ,使之能够在较宽波 主要是用于 ZnGeP 多晶原料 的熔化 ,所 以应 段 (O.7~ 12 m)范 围 内实现相位匹配 ,CO 激光 具有足够高 的温度 ,至少要高于 ZnGeP 的熔点 器 、Nd:YAG(Nd:Y。AlO。)激光器、Ti宝石 (Ti: (1027℃)以上。试验 中,一般可将高温区温度设 Al2O。)激光器 、Ho:Tm:LYF(Ho:Tm:YLiF4)激 置为 1060~1080℃,以确保 ZnGeP 多晶原料充 光器等都可 以作为泵浦源。因此 ,ZnGeP 晶体不 分熔化,并防止熔体过热;同时,高温区还应具有足 仅可用于红外倍频,而且在红外混频、光参量振荡、 够长的恒温区,以避免 因ZnGePz熔体分解而造成 二次谐波和太赫兹波产生等方面都具有广 阔的应用 生长的晶体偏离化学计量比。 前景 。 . 2)梯度区 采用垂直布里奇曼法 (VBM)生长 znGeP 晶 该温区是 ZnGeP 晶体生长 中最重要的区域, 体时,合理的温场分布是获得大尺寸、高质量单晶体 即晶体生长固一液界面所处的位置。由晶体生长理 的关键因素之一 ,而优 良的单晶生长炉结构及控温 论可知 ,过小的温度梯度不能提供晶核形成所需的 系统是提供合理温场 的前提条件。因此 ,本文通过 驱动力 ,且在固一液界面上方靠近熔体侧容易寄生成

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