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第39卷 增刊1 稀有金属材料与工程 V01.39,Suppl.1
2010年 6月 RAREMETALMATERIALSANDENGⅡ町EERING June2010
基于超声波声压反射系数相位谱测定
热障涂层密度的方法研究
赵扬,林莉,李继承,李喜孟,雷明凯
(大连理工大学,辽宁大连116024)
摘 要:提出一种利用超声波声压反射系数相位谱无损测量热障涂层密度的新方法。采用电子束物理气相沉积技术
beam
(electricphysicalvapordeposit,EBPVD)制备平均厚度为150pm的Zr02—7%Y203(质量分数)热障涂层试样,借助强
ion
beam,HIPIB)对部分试样进行辐照,改变涂层密度。利用11MHz宽频超声脉冲
流脉冲离子束(high-intensitypulsed
波通过垂直入射水浸聚焦方式对涂层进行实
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