光学元件干涉检测数据的定位处理方法.pdfVIP

第 40卷第 8期 光 子 学 报 Vo1．4ONO．8 2011年 8月 ACTA PHOT0NICA SINICA August2011 文章编号：1004—4213(2011)08—1191—5 光学元件干涉检测数据的定位处理方法 陈伟 (西安科技大学 通信与信息工程学院，西安 710054) 摘 要：在光学元件的抛光阶段 ，通常采用干涉仪对光学元件 的面形数据进行检测，为进一步的加 工工作提供指导意见 ．为 了利用干涉仪检测数据给 出被测光学元件 面形上 的各 点空 间坐标准确位 置 ，对面形数据 的原始数据做二值化处理 ，用 Sobel算子采用基于边缘检测 的方法准确提取光学元 件的外形轮廓数据 ，采用基于半径约束的最小二乘拟合方法对被测光学元件的内、外 圆边缘数据进 行多次处理，求取 内、外圆的圆心位置 ，半径大小，根据等准确度测量原则获得光学元件面形数据的 准确值 ，为在干涉仪检测所得面形数据上准确建立坐标系提供依据． 关键词：光学检测；数控加工；边缘检测；随机误差 中图分类号 ：TN247 文献标识码 ：A doil10．3788／gzx1191 检测所得的干涉图上建立坐标系，最终实现检测数 0 引言 据的数字化定位．基于等准确度测量原则利用这种 大型非球面光学元件具有提高光学系统性能， 定位方法可以较为准确地获取光学元件面形的准确 改善成像质量，缩小外形尺寸，减轻仪器重量等优 数据． 点 】]，已成为空间光学、天文光学、国防光学等领域 1 干涉仪检测数据的定位处理法 的关键部件之一．传统的大型非球面加工分为粗磨、 精磨 、抛光三个阶段_3]．粗磨和精磨加工是实现最接 1．1 轮廓提取 近球面和非球面化的阶段 ；抛光阶段是最终达到所 边缘是指图像局部亮度变化最显著的部分 ，是 需面形 的阶段 ，因此抛光阶段的工作量是非常大的． 物体的轮廓或物体不同表面之间的交界位置在图像 针对检测所得光学元件的制造误差数据选用合适的 中的反映 ．边缘检测在图像处理与计算机视觉中 处理方案，在被加工光学元件上实现检测数据数字 占有特殊位置，它是底层处理中最重要的环节之一， 化定位对于利用数控加工技术提高大型非球面加工 其结果的正确性和可靠性将直接影响对客观物体的 的质量和效率具有重要意义． 理解 ． 在光学元件的抛光阶段，通常采用干涉仪检测 在干涉仪检测中，元件的塌边 ，表面上 的灰尘等 技术获取光学元件 的面形数据_4]．仪器检测所得光 干扰都会使干涉仪无法检测到数据．因此在对干涉 学元件的面形数据 由单次测量 中检测效果最好的测 仪数据利用最小二乘法消除倾斜项和常量项的影响 量数据做为最终结果，检测结果的准确度取决于检 后，可以采用简单的二值化处理，有数据位置置 1， 测仪器的准确度 ，为了提高检测准确度 ，主要通过研 无数据点置 0获取检测数据的二值化图像． 制高准确度精密光学检测设备来解决问题 ]．干涉 索贝尔算子是 由索贝尔 (Sobe1)提 出的一种将 仪通过 CCD成像 ，所获得 的波面相位数据是一个 同 差分运算与局部平均相结合 的边缘检测方法_8]，该 像素点位置相联系的量 ，在加工过程 中，由于元件加 算子是在以f(x，)为中心的3×3领