在入射平面内小角度入射一维光栅零级衍射场的简便计算方法.pdfVIP

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2017-09-12 发布于安徽
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在入射平面内小角度入射一维光栅零级衍射场的简便计算方法.pdf

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第 8期电子学报 Vo1．39 No．8 2011年 8月 ACrAELECrR0NICA SINICA Al】g． 2011 在入射平面内小角度入射一维光栅零级衍射场的简便计算方法陈树强 (电子科技大学物理电子学院，四川成都 610054) 摘要：耦合波分析法 (RCWA)方法是目前研究光栅衍射最普遍的方法．垂直入射到光栅表面的光使衍射光的正负 Ⅳ级衍射波处于对称状态，使得在 RCWA法中原先需要计算 2N+1级衍射的2N+1阶矩阵问题降低到计算 Ⅳ+1级衍射的 Ⅳ+1阶矩阵问题．本文将这种对称结构的简化方法推广到非垂直入射、光栅条纹在入射平面内的情况，使得在这种耦合情况下的2(2Ⅳ+1)阶矩阵问题简化为2(N+1)阶矩阵问题．同时针对小角度入射的情况提fiJ_厂进一步简化计算方法将其简化为(Ⅳ+1)阶矩阵问题．实验表明在较大的范围内，其误差均可接受，在1一程应用具有重要的意义．关键词：光栅；RCWA；衍射；对称性中图分类号： 0438．2 文献标识码： A 文章编号： 0372—2112(2011)08—1878—05 A SimplifiedApproachforCalculationZero-OrderDiffractionofthe1-D GratingwiththeIncidentPlaneParalleltotheGratingLine CHEN Shu—qiang (UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu，Sichuan610054，China) Abstract： Therigorouscouplewaveanalysis(RCWA)isoneofthemostcommonmehtodsforhtestudyofgratingdiffrac— fion．Fortheincidentbeam normaltothesurfaceofthergating，htepositiveandnegativeN diffractionordersraesameduetohte symmeuy，whichleadt0thegreatsimplifiedinbydc ingmalrixsizefrom 2N+ 1toN +1．Inthispaper，htesmi plifide mehtod isextendedtothecasethathtenicidentplnaeparallelothtegradngline．Inthiscase，hteproblemofmatrixsize2(2N+t)(dueot htecouplingofdifferentpolarizationstates)canbereducedtohteproblemofmatrixsize2(N+1)．Furthermore，somemoresmiple approachforhtesmallincidentangleisdiscussed，niwhichhteproblem ofmatrixsiez 2(N+t)Cna be rdeucde to(N+1)．The typicalsmi ulationshowshtat hteerrorisaccepatbleinquite alargerange，whichismi portantni practical USe． Keywords： rgating；RCWA(rigroouscouplewaveanalysis)；diffraction；symmetry 等人提出_2J，