ITRS（国际半导体技术发展路线图）2004年增补更新版出炉.pdfVIP

维普资讯 Lf 产富业发瞥展皇 ￡l】国集成电路 I川l_I ITRS【国际半导体技术发晨路线图】 作者：王正华 一 也得到了美 国企业的支持)SIA分别在 1992年 ， ． ITRS的产生背景，发展变迁以及 其所发挥的作用 1994年和 1997年，直接协调组织编制并出版了美 国半导体技术发展路线图NTRS(theU．S．National 在上世纪8O年代中后期 日本半导产业在市场 TechnologyRoadmapforSemiconductor)的 1992， 份额，生产比重连续几年超过美国。一些 日本企业家 1994，和 1997版；而且一次比一次充实。这是 ITRS 以及政界人士傲气十足，不可一世。纷纷发表意见声 的前身。 称：“日本人可以说 不‘”’。在这种形势的逼迫下， 到了上世纪9O年代后期，在经济全球化的浪潮 1988年美国政府成立美国半导体咨询委员会NACS 推动下，各个国家和地区的竞争 日益加剧，并出现竞 (TheNationalAdivisoryonSemiconductor)，成员来 争合作的新局面。于是在 1998年在美国的Carlbad 自产业界，政府机关，大学和科研机构，以及国防部 举 行 的 全 球 半 导 体 大 会 WSC)(theWorld 门的专家，由美国总统指定聘请。美国半导体咨询委 SemiconductorCouncil)上，美国SIA正式邀请 日本， 员会NACS，于 1991年在美国政府，美国产业界，以 欧洲，韩国参加 NTRS1998年更新增补版的编制出 及美国科学与技术机构的支持下，组织召开了“2000 版工作 。随后并得到 日本 电子工业技术协会 年微电子技术产业”的研讨会。研讨会的主题是：“为 (JEITA)，欧洲半导体产业协会(ESIA)，韩国半导体 了在未来的年代使美国能够在2000年夺回并保持 工业协会(KSIA)的同意，接着我国台湾半导体产业 美国半导体产业在全世界的领先地位，美国半导体 协会 (TSIA)也参加了进来，由美国半导体产业协会 产业必须掌握的技术。并制订为了达到此 目标，必须 牵头，共同编制并出版发行半导体技术发展路线图， 采取的指导方针和具体措施。” 于是形成 目前的局面。自1998年以后NTRS也相应 这次研讨会的研讨项 目比较广泛，并不仅仅局 地更名为国际半导体技术发展路线 图 ITRS(the 限于技术范围。研讨会共分为6个分会，它们分别 International Technoloyg Roadmap ofr Semi —- 为：光刻；制造工艺；仿真模拟；器件与线路；结构；以 conductor)。由于半导体技术发展变化十分迅速，以 及经济效率 (economicaldfficiency)。研讨的内容也 后的ITRS每隔两年彻底改编一次．其中间的一年进 涉及投资的有效性；人员培训等等问题；可以说几乎 行增补更新。从那时以后，一共编制出版了ITRS的 涉及半导体产业界的所有方面。对于此次研讨会所 2001年，和2003年版本；并编制出版了1998年， 涉及的技术方面的各种问题，以后就全部委托美国 2002年的更新增补版本。2004年的ITRS增补更新 半导体行业协会 SIA (TheU．S． Semiconductor 版本现已出版发行。2005年的ITRS版本正在按计 IndustryAssociation)研究处理，并继续推动。由于受 划进行编制。 到政府的委托，并得到政府在经济方面的支持(以后 我国先后由清华大学微电子学研究所翻译过