La0．7Ca0．3MnO3薄膜的掠入射X射线衍射研究.pdfVIP

维普资讯 第27卷 第 l2期 核 技 术 Vo1．27，No．12 2004年 l2月 NUCLEARTECHNIQUES December2o04 La07Ca0 ． ． 3MnO3薄膜的掠入射X射线衍射研究 谭伟石 ， 蔡宏灵 吴小山 蒋树声 贾全杰 郭立平 何 庆 高 矩 1(南京理工大学理学院应用物理系 南京 210094) 2(南京大学固体微结构物理国家重点实验室，南京大学物理系 南京 210093 3(中国科学院高能物理研究所 北京 100049) 4(香港大学物理系 中国香港 ) 摘要 利用 9O。离轴射频磁控溅射方法将 La0．7Cao~vlnO3(LCMO)沉积于 (001)取向的 SrTiO3(STO)、MgO 和0-【AI2O3(ALO)单晶基片上，薄膜厚度均为500A。通过掠入射x射线衍射技术测量了LCMO薄膜的横向 晶格常数 (即面内晶格常数 )，结合常规x射线衍射研究了LCMO薄膜的晶格应变及其弛豫情况。结果表明， LCMO薄膜在MgO和ALO基片上的应变弛豫临界厚度很小，这可能与薄膜一基片之间高的晶格失配率有关。 LCMO薄膜的应变弛豫与四方畸变的弛豫可能具有不同的机制。利用掠入射x射线衍射对LCMO薄膜面内生 长取向的研究给出了与利用电子显微技术研究相同的结果。 关键词 La07Cao ． 3MnO3薄膜，掠入射x射线衍射，应变弛豫，面内晶格常数 中图分类号 0484 自从 J’n等人…在外延于 LaAIO3单晶基片上 分子束外延 1【。。、离子束溅射…】、直流磁控溅射 【l2】 射频磁控溅射㈣、脉冲激光沉积 l【4】、金属有机 的Lao．67Cao-33MnO3薄膜中发现超大磁电阻 (CMR) 、 效应以来，人们通过改变材料的成分和制备工艺， 化学气相沉积1【5J和溶胶一凝胶法1【6】等方法都被用来 利用各种实验技术和理论方法对类钙钛矿锰氧化物 在各种合适的基片上沉积超大磁电阻锰氧化物薄 块体材料和薄膜样品的结构、磁有序和电磁输运性 膜。本文利用 90。离轴射频磁控溅射方法 1【’】将 能进行了较为系统的研究2【．。掺杂稀土锰氧化物超 Lao7Cao ． ． 3Mn03(LCMO)沉 积 于 (001)取 向 的 大磁电阻材料在 自旋电子学等领域有着广阔的应用 SrTiO3(STO)、MgO 和仪一AI203(ALO)单晶基片 前景oJ【，也蕴涵着丰富的基础物理问题，是近年来 上，通过掠入射x射线衍射技术精确测量了厚度为 凝聚态物理最为活跃的研究领域之一。 500A的LCMO薄膜的横向晶格常数 (即面内晶格 从晶体结构的角度看，超大磁电阻锰氧化物材 常数)，结合常规x射线衍射技术研究了LCMO薄 料都含有ABO3型钙钛矿结构单元，而钙钛矿结构 膜的晶格应变及其弛豫情况。 单元数 目及畸变情况与材料的电磁输运性质密切相 关7【J。晶格应变与应力的存在同样可以影响锰氧化 1 实验 物的电磁输运性质。薄膜材料中的晶格应变一方面 实验用靶材以La203、CaCO3和MnO2为原料 来 自于外延膜和基片之间的晶格失配和热膨胀系数 粉末，按 Lao．7Cao-3MnO3化学