一种新的光栅传感器信号相位补偿算法的设计.pdfVIP

文章编号 ：1001．9944(2011)09-0011-04 一 种新的光栅传感器信号相位补偿算法的设计 胡晓东 ．彭 琅 1,2 f1．中国科学院 西安光学精密机械研 究所，西安 7i0119；2．中国科学院 研究生院，北京 100049) 摘要 ：为 了保证光栅传感 器的分辨率的提高 ，减 小细分 算法的误 差 ，文中提 出了一种新 的相 位检测与补偿 的处理方法 该方法主要采用 易于硬件实现 的CORDIC算法来实现 ，用 CORDIC算法的向量模式来检测两路信号的相位并得到其相位偏差。再用其旋转模式对有 相位偏差的信号进行补偿 补偿过程 中．以正弦信号为基准 ，对有相位偏差的余弦信号进行 补偿 仿真实验表明，该算法可使相位偏差得到有效补偿 ，补偿后的偏差不超过补偿前的2％。 关键词 ：光栅传感器 ：细分 ：正交偏差 ；相位 补偿 ；C0RDIC 中图分类号 ：TP212 文献标 志码 ：A New DesignofPhaseCompensationAlgorithm forGratingSensorSignal HU Xiao—dong．PENG Lang。 (1．Xi’anInstituteofOpticsandPrecisionMechanics，ChineseAcademyofSciences，Xi’an7l0119，China；2．GraduateU— niversityofChineseAcademyofSciences，BeUing100049，China) Abstract：Toimprovetheresolution ofgrating sensorsignaland reducethesubdivisionerror，a new algorithm ofphase detectionandcompensationwasproposedinthispaper．Thisalgorithm mainlyadoptsCORDIC algorithmswhichiseasyto thetargetofthehardwarerealization．Thephase deviation isdetected by thevectormode ofCORDIC，And thesignal havingphasedeviationiscompensated bytherotation modeofCORDIC．Intheprocessofcompensation，thesinesignal of the grating sensorisregarded as the reference，and the cosinewhich hasphase deviation is compensated．The experimentalresultshowedthatthephasedeviationcan becompensatedeffectivelybythisalgorithm，and thefinalphase deviationwillnotexceed2％ oftheinitialone． Key words：gratingsensor；subdividing；orthogonalitydeviation；phasecompensation；CORDIC 光栅传感器作为精密测量位移 (或角度)的一 值细分法 ．简要分析 了正交性偏差所带来 的误差 ．详 种重要工具 ，已经普遍应用在雷达 、光 电经纬仪 、机 细介绍 了一种莫尔条纹信号正交性偏差的测量和补 器人、数控机床等诸多领域…。科学技术的发展 ．对 偿方法 ．原理更为简单 。更易于硬件实现 该方法的 其分辨率和精度的要求越来越高 高精度位移或角 使用定位在对莫尔条纹信号的采集之后 ．在位移或 度编码器中细分误差是误差的主要来源 ．而莫尔条 角度解算之前 。通过该方法可改善信号的正交性 ． 纹信号的正交性