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中国科技论文在线
Ф2mm 非球面光学模具斜轴磨削补偿研究#
陈逢军，尹韶辉，胡天*
（湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心，长沙 410082 ）
5 摘要：针对Ф2mm 小口径非球面光学透镜模具的斜轴磨削与误差补偿进行研究。通过比较
传统的垂直轴磨削方法，提出针对微小非球面光学模具的斜轴磨削方式，有效避免小直径微
细砂轮磨削时发生干涉情况，且能提高小口径非球面磨削的稳定性及精度。通过分析磨削区
域内微细砂轮与小口径非球面的干涉情况，合理选用较高强度的小直径砂轮。提出小口径非
球面误差分析及补偿策略，分析砂轮的x 轴向对心误差和对形状精度的影响，对加工后的随
10 机残余误差进行法向补偿磨削。利用超精密磨床对口径为2 mm 的非球面超硬碳化钨光学模
具进行纳米斜轴误差补偿磨削试验，经过三次超精密磨削及误差补偿循环后，光学模具的形
状精度PV 从1034 nm 改善至146 nm，表面粗糙度达到Ra 2.19 nm。
关键词：斜轴磨削；误差补偿；光学模具；小口径非球面；碳化钨
中图分类号：TG58
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Inclined-axis Error Compensation Grinding for Ф2mm
Aspheric Optical Mould
CHEN Fengjun, YIN Shaohui, HU Tian
(National Engineering Research Center for High Efficiency Grinding, Hunan University,
20 Changsha 410082)
Abstract: A inclined-axis grinding technique and error compensation method of Ф2mm aspheric
mould are studied. Through comparing the traditional perpendicular grinding method, a inclined-axis
grinding mode is proposed for avoiding the interference between small grinding wheel and small
aperture aspheric mold, and the stability and grinding accuracy can be improved. Small fine grinding
25 wheel with high intension is chosen by analyzing the interference of grinding area and the grinding
wheel. An error compensation strategy is proposed based on ultra-precision inclined-axis grinding. The
X-directional de-centering errors are considered to correct the new centering position of grinding wheel.
The random form error is compens
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