L梁微梳齿谐振器的有限元分析与工艺设计.pdfVIP

第9卷 第 4期 信 息 与 电 子 工 程 VO1．9．NO．4 2011年 8月 INFORMATION AND ELECTRONICENGINEERING Aug．，20l1 文章编号：1672-2892(2011)04．0502．05 L梁微梳齿谐振器的有限元分析与工艺设计 王 强 ，高 杨 ，秦 燃 (1．西南科技大学．a．制造科学与工程学院 ；b．信息工程学 院，四川 绵 阳621010； 2．中国工程物理研究 院 电子工程研究所 ，四川 绵 阳 621900) 摘 要 ：建立了L梁微机械梳齿谐振器 的仿真模型，利用 ANSYS有限元仿真软件对其进行模 态和谐响应仿真分析。通过模态分析，得到谐振频率等重要性能参数以及不同 L梁结构参数对它 们 的影响：谐振频率随着 L长梁梁长的增加而减小；随着L长梁梁宽，L短梁梁长 、梁宽的增加而 增加 。并在谐响应仿真分析 中得到微机械谐振器的幅频响应特性，设计 了谐振器 的工艺流程和相 应 的掩膜版 图。 关键词：微 电子机械系统；梳齿谐振器；谐振频率；工艺流程 中图分类号 ：TN305 文献标识码 ：A FiniteelementanalysisandcraftdesignofL-beam micromechanicalcombresonator WANGQiang ，GAOYang，QINRan f1a．SchoolofManufacturingScienceandEngineering；lb．SchoolofInformationEngineering，SouthwestUniversityofScienceandTechnology， MianyangSichuan621010，China；2．InstituteofElectronicEngineering，ChinaAcademyofEngineeringPhysics， MianyangSichuan621900，China) Abstract：SimulationmodeloftheL—beam micromechanicalcombresonatorwasestablished．Itsmodal andharmonicresponsewereobtainedbytheANSYSfiniteelementsimulationsoftware．Throughthemodal analysis，key parameters includingresonancefrequencywereobtained，and the influenceofdifferent L—beam structureson theparametersisthat：theresonancefrequencywilldecreaseasthe longbeam’S lengthincreases，andwillincreaseasthelengthandwidthofshortbeam aswellasthewidthofthelong beam increase．Besides，theamplitude—frequencyresponsecharacteristicsofmicromechanicalresonators wereobtainedthroughharmonicresponsesimulationanalysis．Thefabricationprocessandlayoutsofthe resonatorweredesigned． Keywords：MicroElectroMechanicalSystems；combresonator；resonantfreq