基于InP／空气隙DBR的长波长一镜斜置三镜腔型光电探测器.pdfVIP

维普资讯 目圃韶镭 中国科技核心期刊 基于 InP／空气隙DBR的 长波长一镜斜置三镜腔型光电探测器 王 琦 黄 成 任爱光 武 鹏 黄永清 任晓敏 (教育部光通信与光波技术重点实验室 北京 100876l 摘要 介绍了一种新型 InP基长波长一镜斜置三镜 镜腔型光 电探测器进行了系统的数值模拟和理论分 腔型光电探测器，并利用传输矩阵方法对其进行数值 析，为InP基一镜斜置三镜腔型光电探测器的结构设 模拟和理论分析。通过斜镜的引入 ，该探测器不仅消 计提供了可靠的依据。 除了谐振腔增强型 (RCE)光 电探测器的量子效率与光 谱响应线宽之间的制约关系，还能实现响应波长的大 2理论分析 范围调谐。 一 镜斜置三镜腔型光电探测器的工作原理如图 1 关键词 光电探测器 InP／空气隙DBR 楔型结构 所示。当光波垂直入射到由M 和M 构成的F-P腔滤 中图分类号 TN364+．2 文献标识码 A 波器后形成了中心波长为 的窄光谱线宽的透射光 波。该光波经过吸收层后再次被倾角为 的高反射率 1引言 底镜 M 反射 ，反射光分别以2 、4OO、6Oo、800…的角度 随着大容量密集波分复用 (DWDM)光纤通信系 斜入射向F—P腔滤波器，同时经过 F—P腔滤波器反射 统的应用 以及全光传送网络的发展，越来越需要具有 回的光波分别以3oo、5OO、7OO、9oo…的角度斜入射向底 探测波长可调谐、高响应速率、高量子效率和窄光谱 镜 M，。对于以一定角度入射的光波，F—P腔滤波器将 响应线宽的光电探测器。谐振腔增强型 (nEE)光电探 等效为高反射镜 ，这样光波将在 M。和 M 之间来 回反 测器虽然消除了传统PIN型光 电探测器的量子效率 射 ，并多次被吸收层吸收从而可以获得很高的量子效 和响应速率之间的制约，可以同时获得高响应速率、 率。这样，探测器的吸收层可以设计得很薄，保证了器 高量子效率和波长选择性探测，但是其光谱响应线宽 件可以获得高的响应速率。探测器的波长选择性完全 与量子效率之间还存在相互制约的关系l】】。 由F—P腔滤波器单独决定。此外 ，还能通过载流子注 为了消除谐振腔增强型光电探测器的光谱响应 入或加热 的方式来改变F—P滤波腔腔体材料的折射 线宽与量子效率之间的制约关系，使其真正成为理想 率来实现探测波长的大范围调谐。 的接收器件，两种新型探测器结构相继被提出，一种 假定探测器的入射窗 口W=5Ol~m，底部高反射率 是四镜三腔型结构2[1，另一种是一镜斜置三镜腔型结 DBR反射镜 M3的倾角 0o=0．7。，反射镜 M。和Ms之间 构Ol。四镜三腔型结构利用隔离腔成功实现了滤波腔 的最小间距 H=Im，则经过 F—P腔滤波器后的透射 与吸收腔之间的解耦 ，但同时也要求滤波腔与吸收腔 光在吸收腔中的反射次数 即通过吸收层的次数约为 之间模式匹配，这样就不能通过单独调节滤波腔实现 IncidentLight 响应波长的调谐。一镜斜置三镜腔型光电探测器则通 过引入斜镜 ，彻底消除了各平行子腔间的耦和 ，既可 1r 以同时获得窄的光谱响应线宽和高的量子效率 ，又能 够实现响应波长的大范围调谐。 本文利用传输矩阵方法首次对InP基一镜斜置三 ＼