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6.152J/3.1 55J
晶体生长
缺陷和晶体生长
6 . 1 2 J / 3 . 1 5 5 J 微电 子工艺
缺陷
杂质,空位,位错…与温度(T )有关
晶体生长技术:
区熔法, 布里曼生长法, 直拉单晶法
生长时的分凝
分凝系数
2
N o v . 2 6 , 2 0 0 3
1
6.152J/2.1 55J
热力学和相位图
6.12J / 3. 155J Microelect ron ic processing
HB - HA = H = 生成热(A B)
所有的反应都有放热过程吗?
S - S = S = 熵的改变量(A B)
B A
所有的反应都有熵增增加吗?
用吉不斯自由能来解答: G
G=H-TS
G - G = G = H - T S
B A
如果反应进行的话,G一定要减少.
(根据平衡, 所有 改变都会增加G). 3
N o v . 2 6 , 2 0 0 3
热力学和相位图
6. 12J / 3. 155J 微电子工艺
H
吸热
H =从A到B 的焓的变化 Ex ot 放热
B 组 态
组 态
所有的放热反应都会
进行吗?
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