薄膜应力分析及一些测量结果.pdfVIP

第 23 卷　第 56 期 　　 光　学　仪　器 V o l. 23,N o. 56 2001 年 56 月 O PT ICAL IN STRUM EN T S D ecem ber, 2001 文章编号: 1005—5630 (2001) 56—0084—08 薄膜应力分析及一些测量结果 范瑞瑛, 范正修 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800) 　　摘要: 论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性, 分析了应力的形成原因及沉积 参数、老化条件的关系, 给出了应力的简单测试方法及部分结果。 关键词: 热应力; 形变; 沉积; 老化 中图分类号: O 484 5　　　文献标识码: A Stress ana lysis of th in f ilm s and som e testing results , FA N R u i y ing FA N Z heng x iu (Shanghai Institute of Op tics and F ine M echanics, Ch inese A cadem y of Sciences, Shanghai 201800, Ch ina) 　　 : . Abstract T he seriou s influence of stress on h igh pow er laser th in film s w as discu ssed in th is paper T he o rigination of stress and the co rrelation betw een stress and depo sition param eters and aging condition s w ere analyzed. A sim p le stress testing m ethod and som e testing resu lts w ere p resen ted in the . con tex t Key words: therm al stress; defo rm ation; depo sition; aging 1　薄膜应力研究的重要性 薄膜应力在薄膜应用中是一个不容忽视的问题。它的存在不仅会直接导致薄膜的色裂、脱落, 使薄膜 损失, 而且会作用于基体, 使基体发生形变, 从而使通过薄膜元件的光场发生畸变, 影响传输特性, 更重要 的是薄膜在激光辐照下, 由于预应力的存在, 加速了薄膜内的热力偶合作用, 使其成为薄膜破坏的敏感因 素。因此研究薄膜的应力, 并设法控制其发展, 在强激光系统中显得更为重要。 薄膜中的预应力是薄膜生长过程和存放的环境条件共同作用的结果, 其性质和大小与基体和薄膜材 料、沉积技术、沉积条件以及后处理工艺等密切相关。搞清楚应力与这些因素的关系, 建立相关的控制技 术, 就可以控制薄膜应力的发展, 从而减小薄膜元件的形变, 改善光学质量, 提高元件的使用寿命。 2　薄膜应力的成因 薄膜应力的形成是一个较复杂的过程。近年来, 已有不少文献对电子束蒸发的薄膜应力及其影响因素 收稿日期: ( ) 作者简介: 范瑞瑛 1944 , 女, 浙江镇海人, 高级工程师, 从事光学薄膜技术和激光薄膜的研究, 主攻