原子氢在纳米金刚石薄膜生长中的作用.pdfVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 原子氢在 纳米金 刚石 薄膜生长 中的作 用 林 良武, 唐 元 洪, 朱利 兵 湖 南大 学材 料 科 学 与工 程 学院 , 长 沙 摘 要 探索 了原子氢在各类制备条件下对纳米金 刚石薄膜生 长所起 的作用 , 指 出贫氢 环 境 并不是纳米金 刚石薄膜制备 的必备条件 , 原子氢与 在贫氢环境和 富氢环境 中的作用 机理 不 , 尽相 同 通过施加衬底偏压 能促进 氢离子 的产生 氢离子刻蚀 碳 的能力 比刻 蚀 “ 碳 能力 强很 多, 同时能产生表面缺 陷, 因而 富原子氢环境更有利于纳米金 刚石薄膜成 核 与生 长 关 键 词 原子氢 , 纳米金 刚石薄膜 衬底偏压 , 成核 , 生长 中图分类号 , 文献标识码 引言 微米 金 刚石 薄膜 因其高 的硬 度 、 化 学 稳定性 、 高 的导热 性和 良好 的光 学特性而 广泛 地 应 用 于 电子设 备 、 微机械领域 、 机 械 涂层及 其他 的领 域 然而 , 由于 其本身具有 的表 面粗糙 , 特征 , 因而难 以与衬底 表 面 形 成 良好接触 , 制 约 了其应 用 而 新 型 的纳米 金 刚 石 薄膜则 具 有表 面光 滑平 整 , 摩擦 系数 小 以及 易于 干 法 刻 蚀 等特性 ,