基于石英玻璃基底湿敏元件的模型比较研究.pdfVIP

2010年 第29卷 第 l2期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 15 基于石英玻璃基底湿敏元件 的模型 比较研究 冯冬梅 ，李巴津 ，宋丽丽 (内蒙古7-,11,大学 信息工程学院，内蒙古 呼和浩特 010051) 摘 要：对基于石英玻璃基底制备的TiO-20％SnO 薄膜湿敏元件进行复阻抗分析 ，采用 Origin7．5软件 绘出不同湿度下的复阻抗图。在Zsimpwin软件环境下，利用3种不同的等效电路模型对该湿敏元件的复 阻抗图进行拟合和误差分析比较。研究表明：引入 Q元件的等效电路模型是合理的，该等效电路模型便 于对薄膜离子的扩散与感湿机理进行分析。 关键词：湿敏元件；等效电路模型；复阻抗图；Q元件 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2010)12-0015-04 Thecomparingstudyon themodelofhumidityelement based on quartzglasssubstrate FENGDong—mei，LIBa-jin，SONGLi-li (CollegeofInformationEngineering，InnerMongoliaUniversityofTechnology，Huhhot010051，China) Abstract：20％ Sn“ dopedTitaniafilmshumidityelementpreparedonthequartzglasssubstratewasanalyzed byusingcomplex impedanceanalysis，theimpedancespectrawereprotracted indifferenthumiditybyOrigin7．5 software．UndertheZsimpwinsoftwareenvironment，threedifferentequivalentcircuitsmodelswereusedforfitting theimpedancespectraoftheelement，erroranalyzingandcontrasting．Theresultsshow thattheequivalentcircuit ofQcomponentisreasonable．Itisconvenientofrtheanalysisofthediffusionoftheiononthethinfilmsandthe humiditysensingmechanism． Keywords：humidityelement；equivalentcircuitmodel；impedancespectra；Qelement 0 引 言 等效电路模型进行拟合，分析并对 比其误差 ，得 出引入 Q 目前 ，由于湿敏元件广泛应用于工农业等领域的环境 元件的等效电路模型是合理的。该模型可以有效地对薄膜 湿度监测与控制 ，所 以，湿敏元件的研究已引起了人们的普 离子的扩散与感湿机理进行分析。 遍关注。以石英玻璃为衬底制作的一系列电阻式湿敏元件 1 湿敏元件与复阻抗分析法介绍 已得到普遍推广 ，并用复阻抗分析法分别找出了2种 该湿敏元件是采用溶胶一凝胶法在印有梳状 电极的石 比较典型的等效电路模型，如文献 [1，3]中提到的模型，电 英玻璃表面涂覆TiO-20％SnO 薄膜，经过400oC高温处理 路码分别为R(RC)(RC)和R(C(R(RC)))。最近研究发 制备的湿敏元件。该湿敏元件在25％一95％RH湿度范围 现阻抗谱存在弥散效应的情况用常相位角元件 (以下用 Q