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29 5 中 国 稀 土 学 报 20 11 10 第 卷 第 期 年 月 Vol. 29 No. 5 JOURNAL OF THE CHINESE SOCIETY OF RARE EARTHS Oct. 20 11 YBCO 薄膜的织构和孪晶的XRD 分析 1 2 3 3 * 3 ， ， ， ， 王书明 王连红 张 华 杨 坚 刘慧舟 (1． ， 100088 ;2 ． ， 100 190 ;3． 北京有色金属研究总院分析测试中心 北京 中国科学院力学研究所 北京 北京 ， 100088) 有色金属研究总院超导中心 北京 : {00 1}LAO YBCO ， X ， ， 摘要 采用多元电子束物理气相沉积法在 衬底上制备了 薄膜 采用 射线衍射分析了其取向和孪晶结构 结果表明 薄膜 8% C ; ， 27 % a ，3% b 62% C ， C 中除了 取向的四方相外 其余为正交相 而正交相中存在 的 取向 的 取向以及 的 取向 且 取向晶粒存在面内 90 ° ± 0 ． 81° ＜ 110 ＞ 。 、 、 孪晶 四方到正交相变不完全引起四方相残留 局部微环境差异 相变应力以及取向性薄膜相变弹性应变能的方向性等 是引起正交相多取向以及孪晶的主要原因。 :YBCO ; ; ; ; 关键词 孪晶 相变 应力 稀土 中图分类号:TB34 文献标识码:A 文章编号:1000 － 4343 (2011)05 － 0593 － 05 YBa Cu O (YBCO) Cu lO (LAO) ， 400 ℃ ， 2 3 7 － x 的超导电流仅发生在 3 为衬底 衬底温度为 氧气压力为 － O ， 10 ～ 1 Pa ， 面上且存在弱连接效应 微结构对性能的影响 然后将沉积好的薄膜放入石英炉中湿氧 。 、 、 、 、 800 ℃ 2 h ， 500 ℃ 1 h 。 很大 双轴织构 无大角晶界 无裂纹 无杂相 气氛 退火 及纯氧气氛 退火 、 YBCO 膜面平整是获得具有高临界温度 高临界电流密 薄膜的取向及孪晶畴结构等微结构信 ［1 ～ 3］ 。 ， X 、 度的超导薄膜的必要条件 除此之外 孪晶畴 息是采用 射线衍射法测量其极图 倒易空间图 J 。 、 ，