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第 37 卷 增刊 光 子 学 报 Vol.37 Sup.1 2008 年 11 月 ACTA PHOTONICA SINICA November 2008 微晶玻璃在大功率脉冲氙灯封接中的应用* 陈佳，李海兵，俞建华，蒋宝财 （中国科学院上海光学精密机械研究所，上海，201800） 摘 要 ：为提高大功率脉冲氙灯的封接强度，将微晶玻璃作为封接材料引入到氙灯封接应用中 . 以 Bi O ,ZnO,Al O ,MgO,CaCO ,SiO ,BaO,H BO ,P O ,Na O 为原料，通过高温熔融制备了大功率脉冲氙灯封接 2 3 2 3 3 2 3 3 2 5 2 用微晶玻璃样品. 测试了样品的热膨胀系数,并通过差热分析(Differential Thermal Analysis ，DTA)对脉冲氙灯 微晶玻璃的封接温度进行了讨论，用 X 射线衍射(X-ray diffraction ，XRD)表征了封接玻璃，并进行了分析. 将 制得的样品磨成玻璃粉末，制成膏剂状玻璃焊料，对大功率脉冲氙灯进行封接，得到大功率脉冲氙灯的微晶 -6 玻璃封接件. 通过氦质谱检漏仪检测，1#、2#、4#封接件气密性良好，达到 10 Pa. 关键词：微晶玻璃；大功率脉冲氙灯；膨胀系数；封接 中图分类号:TM923 .323 文献标识码：A 0 引 言 1 实验 随着惯性约束聚变研究的不断深入，神光Ⅲ对固 1.1 大功率脉冲氙灯封接用微晶玻璃的制备 体激光驱动器的要求大大提高，对作为其泵浦光源[1,2] 以 Bi2O3, ZnO, Al2O3, MgO, CaCO3, SiO2, 的大功率脉冲氙灯的要求也越来越高，脉冲氙灯的工 BaO, H3BO3, P2O5, Na2O 等为原料，按照一定质量 作性能在很大程度上决定了激光器系统的可靠性和 百分比称取（表 1 ），混合均匀后，在电炉中加热， 稳定性[3~5]. 在众多人工光源中，脉冲氙灯是仅次于 以 5 ℃ /min 升温至 1250 ℃，并保温 1 h,将熔好的玻 激光、亮度最高的光源之一[6] ，它是大功率固体激 璃液迅速浇注到事先预热的铁板上，然后放入温度为 光装置放大器的核心部件. 为配合神光Ⅲ的发展， 550 ℃的电炉中退火处理，经 10 h 后，冷却到室温， 必须不断提高脉冲氙灯的功率. 随着大功率脉冲氙 分别得到 1#、2# 、3#样品，为灰黑色、无气泡、有 灯功率的提高，氙灯的气密性和抗冲击等性能将受到 轻度乳浊的半透明玻璃和 4# 白色、无气泡、半透明 更为严峻的考验. 大功率脉冲氙灯制作的关键是灯 玻璃. 将制得的玻璃放在玛瑙研钵中研碎，然后放入 球磨机中用玛瑙球球磨 3 h,并把玻璃粉末过 200 目 头封接，灯头的封接也就是石英材料和金属的封接， -7 筛，得到几种不同膨胀系数的封接用玻璃焊料. 它们两者的膨胀系数相差较大（石英膨胀系数5x10 / 表 1 微晶封接玻璃的组成