第二篇常用传感器的原理及应用.pdfVIP

第二篇 常用传感器的原理及应用 第 5 章 电阻应变式传感器 学习要点： 1.掌握传感器的工作原理及性能 2.了解传感器的结构、种类 3.掌握测量电路及其补偿方法 4.掌握应变片的布置及接桥方式 5.了解传感器的应用 电阻应变式传感器的基本原理是将被测非电量转换成与之有确定对应关系的电阻值，再通过测量此电 阻值达到测量非电量的目的。 一、工作原理及结构参数 1. 电阻应变片的工作原理 电阻应变片分为金属电阻应变片和半导体应变片。金属电阻应变片的工作原理是基于导体材料的“电 阻应变效应”，半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的“压阻效应”。 当电阻丝受到拉伸或压缩时，其几何尺寸和电阻值同时发生变化，电阻的相对变化为 dR dρ + μ(1ε 2+) x R ρ 对于金属材料来说，电阻应变效应是主要的。由于压阻系数很小，电阻率的变化可以忽略不计，所以 dR 有 +(1 μ2ε ) x R dR / R 其灵敏度 S 1 2 0 + μ ε x 对于半导体材料来说，其压阻效应远大于其应变效应，所以有 dR dρ π ε E L x R ρ dR R 其灵敏度 S π E 0 L ε x 和金属电阻应变片相比，半导体应变片具有灵敏度系数大，横向效应小，机械滞后小，尺寸小等优点， 但是，半导体应变片多数用薄硅片制成，容易断裂，其测试时的可测应变范围通常限制在 3000με 左右， 而金属电阻应变片的可测应变值达 40000με 。另外，半导体应变片的温度稳定性差，测量较大应变时非 线性严重，所以其应用仍然受到一定的限制。 1 当同样长度的线材制成金属电阻应变片时，试件的轴向应变使敏感栅电阻发生变化，同时敏感栅半圆 弧部分产生的横向应变也将使其电阻发生变化。应变片的这种既受轴向应变影响，又受横向应变影响而引 起电阻变化的现象称为