微弧氧化生成钛酸盐系铁电薄膜研究.pdfVIP

第 l9卷 第2期 材 料 科 学 与 工 艺 V01．19 No．2 2011年 4月 MATERIALSSCIENCE TECHNOLOGY Apr．，2011 微弧氧化生成钛酸盐系铁 电薄膜研究 黄文波 ，李文芳 ，吴 晶 (1．华南理工大学 材料科学与工程学院，广州510640，E—mail：xiapipi@21cn．COB； 2．广东交通职业技术学院 机电工程系，广州 510800) 摘 要：为开发新的铁 电薄膜制备工艺，需将 板微弧氧化．采用 Ba(OH)、Ba(CH，CO0)、BaC12、 Ba(OH)+Ba(NO)及Pb(CHCO0)对Ti板进行微弧氧化试验，并对生成的薄膜进行物相组成和显微 形貌的分析．结果表明：Ti板在 BaC1、Pb(CH，CO0)及 Ba(OH)十Ba(NO3) 中不发生微弧氧化，在 Ba (OH) Ba(CHCO0)：中发生微弧氧化．薄膜主要由BaTiO 相构成，表面散布着很多微孔，薄膜厚度均匀． 根据实验结果，可以得出微弧氧化生成铁 电薄膜对溶液成分的要求和发生反应的电流一浓度 区间，以及工艺 参数的选用原则．薄膜在 1kHz频率下的介 电常数为 112． 关键词：铁电薄膜；制备技术；钛酸盐；BaTiO；微弧氧化 中图分类号：TB34；TM22 1 文献标志码：A 文章编号：1005—0299(2011)02—0052—05 Depositionoftitanateferroelectricthinfilmsbymicroarcoxidation HUANGWen—bo，LIWen—fang，wu Jin (1．CollegeofMaterialScienceandEngineering，SouthChinaUniversityofTechnology，Guang~hou510640，China，E—mail：~iapipi@ 21cn．com；2．Dept．ofMechanicalandElectricalEngineefng，GunagdongCommunicationPolytechnic，Gunagzhou510800，China) Abstract：Todevelopanewtechnologyfordepositionofferroelectricthinfilm，Tiplatesmustbemicroarcoxi· dated．Inthispaper，Tiplateswereprocessedbymicroarcoxidation(MAO)inaseriesofelectrolytes，which werecomposedofBa(OH)2，Ba(CH3CO0)2，BaC12，Ba(OH)2+Ba(NO3)2，Pb(CH3CO0)2respectively， andthephase composition and morphologiesoffilmswere investigated．Resultsrevealed thatmicroarcOC— curredsuccessfullyinBa(OH)2andBa(CH3CO0)2solutionsbutfailedinBaC12、Pb(CH3CO0)2and Ba(OH)2+Ba(NO3)2solutions．ThefilmwasmainlycomposedofBaTiO3phaseandscatteredwithsmall holes．Bycomparingtheresultswithdifferentelectrolytic，concentrationsandcurrents，agenerallaw ofrse— lectionofelectrolytic compositionsandoptimaltechniquewasputforward．Dielectricconstantof112 was measuredatfrequencyof1kHz． Keywords：ferroelectricthinfilm ；deposition；titanate；BaTiO3；microarco