微型构件微成形技术与装备.pdfVIP

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国家科技奖 微型构件微成形技术与装备 (2012年国家技术发明奖二等奖) 主要完成人:单德彬,郭斌,王春举等  研究背景及意义: 微系统的应用越来越广泛,对微结构和微型零件的制造技术在可加工材料、效率以 及成本方面提出了更高要求。微成形技术继承了传统塑性成形的优点,具有成形效 率高、成本低、工艺简单以及成形零件性能好和精度高等特点,非常适合微型零件 的低成本批量制造。  创新点和贡献: • 研制了压电陶瓷宏/微驱动和对称双直线电机直接驱动的两种微驱动机构。 • 构建了基于晶体塑性理论的多晶体模型,揭示了微成形介观尺度连续非均匀变形尺 度效应产生机制。 • 发明了浮动式凹模微成形方法,解决了微小型腔充填、载荷精确施加、微型构件脱 模等关键技术。 • 提出了强摩擦、大变形条件下基于DLC 膜的润滑技术。 • 掌握了微型构件形状和尺寸精度、表面质量、组织结构和力学性能检测分析技术, 建立了微型构件质量检测和评价方法。  应用及学术成果: 学术成果: •创新性提出了浮动式凹模微成形方法,开展了微型齿轮微成形机理; •研究了微成形尺度效应,从型腔尺寸与晶粒尺寸相对大小角度,构建理论分析模 型, 揭示了微成形尺度效应产生机理。 浮动式模具成形 主要应用: 研制出微型齿轮、筒形件、阵列孔以及环形件等,在引信延时机构、惯 性约束聚变靶以及数码印染微喷头等微系统中获得应用。 微型构件

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