仿生法沉积Sb2S3微晶薄膜.pdfVIP

第37卷 增刊l 稀有金属材料与工程 V01．37，S印p1．1 RAREMETALMATE刚魄LSAND 2008年 1月 ENGI卜mERmG 2008 J蚰uary 仿生法沉积Sb2S3微晶薄膜 黄剑锋，刘 淼，曹丽云，吴建鹏，贺海燕 (陕西科技大学材料科学与工程学院，陕西西安710021) 热处理温度对薄膜晶相、显微结构和禁带宽度等的影响。采用x．射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外． 可见自记式分光光度计等对薄膜的相组成、显微结构和光学性能进行了表征。结果表明：300℃热处理后获得的薄膜为 无定形薄膜；随热处理温度的提高，薄膜的结晶性能变好，薄膜生长和取向性增强；随着热处理温度从300℃提高到 eV。． 500℃，薄膜的光学带隙由2．06ev降低到1．88 关键词：Sb2S3；微晶薄膜；仿生法 43 中图法分类号：TB 文献标识码：A 文章编号：l002．185x(2008)S1．203．03 1 前 言 2 实 验 热电薄膜及超晶格由于具有复杂的态密度分布、 将耐热玻璃基板在蒸馏水和无水乙醇中用超声波 由量子限制效应引起的能量不连续分布，独特的载流 清洗干净后在真空干燥箱中烘干，之后在紫外光下照 子散射机理和非常低的声子热导率，而具有优异的热 射5min；然后将其浸渍于60℃的O．02mo儿的 电性能。理论和实验表明【lJ，热电纳米结构，包括热 min，将基板取出后自然晾干 Sc(NH2)2溶液中5～10 电超晶格、量子线和量子点，具有比体块材料大得多 后在紫外光下再照射5min。 的热电性能。热电超晶格一般是在热电薄膜制备的基 础上进行叠层和刻蚀制成的，因此，热电薄膜是制备 比)的溶液中沉积一定时间(12～36h)后取出，真空 具有量子结构的高性能热电制备的基础。金属硫属化 干燥后在时气氛保护下于300～500℃热处理1h，即 物类光电材料由于其独特的光电特性已经被广泛地应 mo儿 可以获得Sb2S3薄膜。在实验过程中，配制0．1 用于制造太阳能吸收层、太阳能电池和光电探测器等 的氯化锑溶液时，由于其有水解作用，需要用HCl溶 光电器件。近年来，制备硫化镉、硫化铋、硫化锌和 硒化镉等硫属化物材料的方法日渐成熟，其中化学液 合溶液时，先将0．1mol／L的硫脲溶液缓慢滴加到0．1 相沉积法具有制造成本低、易于大面积制备等其它方 mo儿的氯化锑溶液中，并且不停加热搅拌，同时加 法无法比拟的优点【2’3】。 盐酸滴定至沉淀刚好完全消失，即配成了所需的生长 目前，关于硫化锑薄膜的研究还很少【41。目前硫 溶液。 采用XI己D、AFM和紫外．可见自记式分光光度计 化锑薄膜的制备方法主要有Savadogo【5】和Nair【6J等人 采用的水溶液化学沉积法、杜金会等[．刀采用的无水化 等分别对所制备薄膜的相组成、显微结构和光学性能 学沉积法以及KaIyashova等fs】采用的激光脉冲辐射法进行了表征。 等。本文则首次采用仿生方法，首先通过表面处理在 3结