溶胶凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形.pdfVIP

溶胶凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形.pdf

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第24卷第1期 无机材料学报 V01.24,No.1 Journalof Materials 2009年1月 Inorganic Jan.,2009 文章编号:1000-324X(2009)01-0192-03 溶胶一凝胶法制备YBCO超导薄膜微细图形 张黄莉,赵高扬,彭海军 (西安理工大学材料科学与工程学院,西安710048) 摘要:以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶一凝… 胶法制备了具有紫外感光性的YBCO溶胶及其凝胶薄膜,其紫外吸收峰在250nm附近,对应于铜络合物的电子跃迁吸 收,随着紫外光的照射,其峰值逐渐降低,凝胶在有机溶剂中的溶解性也发生变化,显示了凝胶薄膜的紫外感光性.基 于这一特性,本文提出了一种YBCO超导薄膜图形制备新方法,即利用凝胶薄膜自身的紫外感光性,使紫外光通过掩 模照射薄膜,然后在甲醇中溶洗,进一步热处理,得到了YBCO超导薄膜图形.结果表明,图形化的YBCO薄膜具有较 强的c轴取向,超导转变温度R达到92K. 关键词:YBCO;溶胶一凝胶;感光性;微细图形 中图分类号:051l 文献标识码:A of Fabricationofthe YBCO ThinFilmSol—GelProcess Fine-patternsSuperconductingby ZHANG Hai-Jun Huang—Li,ZHAOGao·Yang,PENG Science ofMaterial and (School EIlgineering,Xi’anUniversityofTechnology,Xi’蚰710048,China) acetateandbariumacetateas mamri- Abstract:Usingmethanol鹤solvent,cupricacetate,yttrium starting chemical als,anddiethylenetriamine,trifluoroaceticacid(AA)asadditives,the acid,acrylic photosensitive films of YBCOsolsand werefabricatedthe method.TheUV thesolsand absorption gel gel by sol—gel peak filmsislocatedatabout tothe ofthe 250nm,whichcorresponds intensityabsorption cupratecomplex.The forthe films decreasesundertheUV

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