电泳沉积碳纳米管的微波等离子体改性.pdfVIP

第23卷第3期 无机材料学报 V01．23，No．3 of Journal Materials 2008年5月 Inorganic May,2008 文章编号：1000-324X(2008)03-0515—04 电泳沉积碳纳米管的微波等离子体改性 秦玉香，胡 明 (天津大学电子信息工程学院，天津300072) 摘要：采用电泳法在si基底上沉积了碳纳米管(CNTs)薄膜，并利用Ar微波等离子体对CNTs薄膜进行了 改性处理，研究了改性前后CNTs的微观结构和场发射性能．高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和拉曼光谱的 表征结果表明，等离子体改性明显改变了CNTs的微观结构，形成了大量的管壁结构缺陷、纳米级突起和“针 形”尖端；场发射测试结果表明，CNTs经Ar等离子体改性处理后开启电场较改性前略有增大，等离子体改 体改性增强CNT8薄膜场发射性能的机理进行了分析． 关 键 词：碳纳米管；电泳沉积；等离子体改性；场发射 中图分类号z 0462，TB383文献标识码tA ArMicrowavePlasmaTreatmentofCarbonNanotubesFilm by ElectrophoreticDeposition QINYu-Xiang，HUMing ofElectronicInformation (School Engineering，TianjinUniversity,Tianjin300072，China) Abstract：Thecarbon was onSisubstrate nanotubes(CNTs)filmprepared byelectrophoreticdepo- treatedArmicrowave microstructureandfieldemission of sition(EPD)andby plasma．The properties the CNTsbeforeandaftertreatmentwere transmission films as—prepared investigated．High-resolution electron Raman revealthemicrostructuralofCNTs microscope(HRTEM)andspectroscope changes afterthe treatmentasevidenceofthe ofa amountofstructural plasma appearancelarge defects．the withnanometersize fieldemissionmeasurementsindicatethatthe sticking and“needle-like”tips．The turnonelectricfieldisincreasedaftertreatment．ThetreatedAr for10nfin slightly