静电电位测量技术的研究现状及发展趋势.pdfVIP

静电电位测量技术的研究现状及发展趋势 于娜1刘志远1赵佳龙1张羽2 1.中国电子科技集团公司第四十九研究所，哈尔滨1500012.哈尔滨制药总厂，哈尔滨150080 摘要：静电基本参量测试包括：电电位测量、静电电量测量、静电电容测量以及电阻与电阻率测量。静电电位是得 到其他参数的依据，是静电研究与应用领域最重要的测量参数。本文针对静电电位测量介绍了接触式静电计和非接触 式静电计静电电位的检测原理，并着重介绍了影响静电计检测精度的主要因素，分析了基于不同原理的静电计应用范 围，最后对静电电位测量的发展趋势进行了展望。 关键词：静电；静电电位；检测原理；发展趋势 ESn-Sl黻臻崖蕊篇绻蠢黧悠瓣 人阻抗的影响，测量结果精度低，读数随时间按指数 测。由于空气中的带电粒子、离子或仪表内部的漏电 衰减，并且只能适用于测量金属体的静电电压；第二 流会使仪表读数随时间而漂移，所以，在对物体测量 阶段是基于平行板电容测量静电电位的方法．但由于 之前。需要在远离待测体处清零。否则会因没有清零 其测量精度、零点漂移和测试值随时间的衰减问题逐 或清零不正确而产生测量误差。在国内，刘尚合院士 渐被取代；第三阶段是电阻式和旋转叶片式测量方 对静电测量仪器的研究较多，他设计的直径约2mm， 法．它是将感应电压调制成交流量再进行放大测试， 空间分辨率约0．1mm的探头，在国际上处于领先水 旋叶式运行靠高速电机驱动，功耗多、体积大、可靠 平。湖南大学电气学院的江讽在探头沿面泄露距离的 性差。不适合长期使用。为了提高测量精度及稳定 改进上取得了很大进步，在用软件处理气体绝缘金属 性、增强抗干扰能力．并适合长期使用。振动式电容 封闭开关设备简称G两等也取得了显著成果。 原理测量应运而生，这是静电电位测量的第四阶段， 其测量水平以及耐环境的恶务陛均高于采用其他原理 3静电电位检测技术 的测量方法，因而可将该技术应用于研制高准确度的 静电传感器。 静电电位的测试方法可分为接触式测量和非接 国外大部分采用振动电容式。将测量的直流电信 触式测量。接触式易受输入电容、阻抗的影响．测 号转化为交流，经过一系列的信号处理，再将测量信 量精度低，读数随时间按指数衰减，只能适用于测量 金属体的静电电压。非接触式测量时不需与带电体接 号转为直流信号并显示：这样，信号不随时间衰减，所 触，不但能测量金属体的静电电位，也能测量绝缘 以这种仪表不但可用于静电电位测量．还可用于同定 体、导体和半导体的静电电位，且对被测体影响小： 接人的监测。并且．采用国际先进振动电容技术的振 非接触式是静电电位测量系统的发展趋势。非接触式 动电容式仪表还能在带电粒子或离子(如高压放电、离 子风消电器等)产生的环境中稳定T作．也能在尘土较 静电测量系统根据电位传感器的不同。可分为直接感 多、湿度较大的环境中稳定上作。不会像直接感应式 应式、旋叶式、集电极式、振动电容式等几种结构。 仪表产生漂移；同时也避免了旋转叶片式仪表南于电 按测量原理不同．又可分为接地屏蔽一电压输入和信 号自屏蔽一电荷藕合两种。后者由于用信号自身输出 动机转动而造成的机械磨损以及由此产生的误差；克 反馈作为保护电极，对于变化的信号探头和待测体之 服了集电极式仪表易受空气流动的影响．减少了对人 体的危害。振动电容式仪表的探头可做成体积小、分 间电位差始终为零，所以动态性能优于前者。 3．1接触式测量 辨率高f空间分辨率达mm量级)、能耗低(几十毫瓦或 更低)、响应快速的微型探头电位传感器。由于这种仪 接触式测量原理：用等电位原理进行测试，把 表制作T艺复杂，成本较高，所以实际通常应用在危 被测带电体用绝缘电缆直接连在输入阻抗为1012n以 险、恶劣环境和高精度要求的情况下。