热键合制作YbY3Al5O12Y3Al5O12复合晶体.pdfVIP

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第23卷第1期 无机材料学报 V01.23.NO.1 of Materials Journal Jan.,2008 2008年1月 Inorganic 文章编号:i000—324X(2008)01—0125—05 王晓丹1,一,赵志伟1,王静雅1,徐军1,Gilbert lUtilisationdesLasers de 3.Ecole pour Intenses,Route Polytechnique,Laboratoire 91 128,Prance) 征和键合质量检测.利用光学显微镜和扫描电镜观察了复合晶体横截面的形貌;在偏光显微镜下观察键合区域 的应力,NN-PN条纹来表征复合晶体的光学均匀性;通过红外透过光谱的测量来检测复合晶体的键合质量. 实验结果表明:热键合技术制备的Yb:YAG/YAG复合晶体键合界面处无界面缺陷,不存在复合界面空间过渡 层,光学均匀性良好. 关键词:Yb:YAG/YAG;键合质量;应力;光学均匀性;热键合 文献标识码:A 中图分类号:TN244 Thermal CrystalPreparedby Bonding CompositeYb:Y3A15012/YaAl5012 WANG Junl,Gilbert Xiao—Danl,2,ZHAOZhi.WeiI,WANGJing—Yal,XU of andFine of 201800,China; Institute Mechanics,ChineseAcademySciences,Shanghai f1.Shanghai Optics ofthe of 2.Graduate ChineseAcademySciences,Beijing100049,China;3.EcolePolytechnique, University Lasers Routede LaboratoirelUtilisationdes Saclay,Palaiseau91128,France) pour Intensesj wasmadethermal method. Abstract:The crystal by bonding compositeYb:Y3A15012/YaAl5012 sectionof and of werecharacterizedindetail.Thecross Structure compositecrystal bondingquality wasobserved and electron the

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