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第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ， ２８ ２ Ｖｏｌ．２８Ｎｏ．２ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２０１３ ４ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＬｉｕｉｄＣｒｓｔａｌｓａｎｄＤｉｓｌａｓ Ａ ｒ．２０１３ ｑ ｙ ｐ ｙ ｐ 文章编号： （ ） １００７２７８０２０１３０２０１９４０５ 犉犉犛产品树脂材料结构 犐犜犗刻蚀技术研究 姜晓辉，张家祥，王 亮，郭 建， 　 　 沈奇雨，曲连杰，张文余，田宗民，阎长江 （北京京东方光电科技有限公司，北京 ， ： ） １００１７６Ｅｍａｉｌｉａｎｘｉａｏｈｕｉ１９８５２５ １６３．ｃｏｍ 　 ｊ ｇ ＠ 摘 要：树脂材料表面平坦度高，光透过率高，介电常数低（ ），在薄膜晶体管显示器（ ）中使用 　 ε≈３．５ ＴＦＴＬＣＤ 树脂材料作为钝化层，可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容，降低逻辑功耗，达到降低整体功耗的目 的，同时增大开口率。文章讨论在边缘场中引入树脂材料作为钝化层产生的与氧化铟锡（ ）刻蚀相关问 ＩＴＯ 题：金属 腐蚀， 缺失等。通过优化刻蚀工艺，感光树脂与非感光树脂和 刻蚀液的搭配，以及改变 Ｍｏ ＩＴＯ ＩＴＯ 树脂涂胶工艺，成功地将树脂引入 ＴＦＴＬＣＤ中。 关 键 词：树脂材料； 刻蚀； 刻蚀液；涂胶工艺 ＩＴＯ ＩＴＯ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ１４１．９ Ａ 犇犗犐 １０．３７８８ＹＪＹＸ０１９４ 　　　 　　　 犐犜犗犈狋犮犺犻狀 犻狀犉犉犛犛狋狉狌犮狋狌狉犲狑犻狋犺犚犲狊犻狀犕犪狋犲狉犻犪犾 犵 ， ， ， ， ＪＩＡＮＧＸｉａｏｈｕｉＺＨＡＮＧＪｉａｘｉａｎ ＷＡＮＧＬｉａｎ ＧＵＯＪｉａｎ ｇ ｇ ， ， ， ， ＳＨＥＮＱｉｕ ＱＵＬｉａｎｉｅ ＺＨＡＮＧＷｅｎｕ ＴＩＡＮＺｏｎｍｉｎ ＹＡＮＣｈａｎｉａｎ ｙ ｊ ｙ