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4、无尘室常见异常状况原因 一、洁净室温、湿度异常升高或降低? 空调箱停止运转或风管上的防火风阀关闭。 冰水温度升高(冰水系统供应异常) 加热或冰水电磁阀控制异常。 二、洁净度超标达不到要求? 1、HEPA出风口无风(贴飘带目视管理) 2、洁净室无法保持正压。(新风量不足) 3、空调送风量不足(滤网达到使用寿命未更换) 4、室内有产尘源,如气体泄漏等。 以上 谢谢! * * 无尘室天花上部 温湿度计和粒子计数器 压差表 1.对车间或房间加正微压(5-10Pa),选用0-60Pa微差压计。 2.检查粗、中、高效空气过滤器的过滤效果,选用2000-125、250Pa、500Pa或1Kpa等差压计,随时观测过滤网的压差,以便更换过滤器。 常用量程:0~60Pa 0~250Pa 0~500Pa 0~750Pa -60~0~60Pa - 125~0~125Pa 0~1kPa 0~2kPa 泄压风门 检漏实验 静电测试 风速测试 风罩 顶棚 测口 仪器: 热球风速仪 精度0.01m/s±3%, 量程0~30m/s,集风罩。 方法 用集风罩住送风口, 测出风口平均风速 洁净室噪音标准 标准的洁净室内噪声应符合下列要求: 一、动态测试时,洁净室内的噪声级不应超 过70分贝。 二、空态测试时,乱流洁净室的噪声级不宜 大于60分贝;层流洁净室的噪声级不应大于 65分贝A。 ①取15分钟内测量的风速平均值, ②按不同位置编记录测定值,计算平均风速。 评估标准 ①垂直单向流面风速v0.35m/s ②水平单向流面风速v0.45m/s 注:仅当单向空气流微粒数目符合100级的洁净度要求,同时风速达到上述数值,才可判断该装置达到100级。 数据处理 四、空调送风箱(AHU) 本节重点: 1、介绍空调箱内部构造 2、空气过滤器的分类。 4-1、空调箱内部构造(Air Handing Unit) 4-2、无尘室各种空气过滤器的分类 * 类别 过滤灰尘直径(μm) 过滤网材质 用途 初效过滤网 ≧5 合成纤维玻璃纤维 外气处理,空调箱前段处理 中效过滤网 ≧1 合成纤维玻璃纤维 循环空气前端处理 高效HEPA ≧0.3 玻璃纸 Class100~1000洁净室最终过滤网 ULPA 0.1~0.3 特殊玻璃纸 洁净度1~100级 超ULPA 0.1~0.05 特殊玻璃纸 洁净度1级 高效过滤器 袋式中效过滤器 纸框处效过滤器 高效过滤器送风口 五、无尘室管理 本节重点: 1、无尘室运行阶段管理 2、无尘室施工阶段管理 3、无尘室检测项目 4、无尘室异常原因分析 维持无尘室清净度四大原则 不产生 立刻排除 不能堆积 不可带入 1、无尘室运行管理四大原则 1-1.不可带入 HEPA过滤器的骨架不能漏气。 室内必须维持设计之压力。 作业人员必须更衣,经过Air Shower后进入无尘室。 所有使用材料、设备、工具必须清扫干净后始可带进。 高效滤网口密封SILICON胶老化,需定期检查修补。 无尘室正压标识 无尘室及更衣室内不得使用纸箱、铅笔、擦胶、涂改液、砂纸、被剪开或撕开的无尘纸等物品。 纸箱 铅笔 擦胶 涂改液 砂纸 被剪开或 撕开的无尘纸 进入AIR SHOWER 动作规范化 AIR SHOWER底部所设粘粘纸要及时更换 人员必须穿着无尘服。 减少不必要之动作。 不可使用容易发尘的材料。 没有必要的物品不可带入。 1- 2.不产生 1、对于高科技工业,比如半导体,电子及生化工厂来说,飞扬在车间里的浮尘(肉眼所看不到的)对生产效率和产品品质都产生了重大的影响。 2、当一个穿着常服的员工站立不动时,每分钟他将产生大约34万粒 0.5μm的微尘;如果他在走动的话那么他将产生大约280万粒。 3、微尘污染严重影响了洁净室的净化,而人体又是对洁净室产生影响的重要污染来源。因此,人体防护对洁净室是相当重要的。 人体防护对洁净室的重要性 大 褂 衣 大褂: 大褂衣单独使用,可与帽子、靴套配合使用。 适合用于CLASS10000-100000的洁净室,适合洁净要求. 分 体 服 上下装分开的设计使穿着更舒适,工效更高。 适用于的洁净室: CLASS1000-10000 防静电连体服 有更好的防尘效果,可防止微尘从身体部位逸出。连帽带鞋型的连体服可用于更高的洁净等级,可配合口罩使用。 适合用于CLASS10-1000的洁净室,适合洁净要求。 不能有不易清洁、清扫之角落及机器周边。 尽量减少外露在室内之风管、水管等。 必须按照标准方法与
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