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目前最常用的能谱仪是Si(Li)X射线能谱仪。其关键部件是Si(Li)检测器即锂漂移硅固态检测器（结构示意图见P162图2-94）。 Si(Li)探测器要始终处在真空中，探头装在与存有液氮的杜瓦瓶相连的冷指内，日常保养麻烦费用较高。 Si(Li)能谱仪的优点 ▲分析速度快，几分钟内即可分析和确定样品中含有的所有元素。分析范围为11Na～92U的所有元素。 ▲灵敏度高。 ▲谱线重复性好，适于粗糙表面的分析工作。 Si(Li)能谱仪的缺点 能量分辨率低，峰背比低。 工作条件要求严格。Si(Li)探头始终保持在液氮中，即使不工作也不能中断，否则将导致探头功能下降甚至完全破坏。不过现代能谱仪已对此作了很大改进，无需使探头一直处在液氮中，只是使用时加液氮保护探头即可。 工作原理：在电子探针中，X射线由样品表面下微米数量级的作用体积中激发出来，若该体积中的样品由多种元素组成，则可激发各元素的特征X射线。被激发的X射线照射到连续转动的分光晶体上实现分光（即色散），不同波长的X射线在各自满足Bragg方程的2θ方向上被检测器接收。 ■WDS的结构:由分光晶体、X射线探测器和相应的机械转动装置组成。 ■分光晶体：是专门用来对X射线起分光作用的晶体，它具有高的衍射效率、强的反射能力和好的分辨率。每种晶体只能色散一段范围波长的X射线，只适用于一定原子序数的元素分析。常见的分光晶体及其应用范围见P