第八章 表面改性技术(表面形变强化 热处理 化学热处理 高能束表面改性技术).pptVIP

离子束表面处理 离子注入的优点： 1.可得到用其它方法得不到的新合金相 2.离子注入层与基体结合牢固 3.对注入元素的数量可控性、重复性好 4.工件表面无形变、无氧化 5.通过磁分析器分析注入束，可获得纯的离子束流 6.离子注入的直进性特别适宜集成电路微细加工的技术要求 7.周期表上的任何元素，都可注入任何基体材料 离子注入的缺点： 1.对金属离子的注入还受到较大的局限 2.注入层薄 3.一些特殊物理问题需要解决，如溅射、升温、腐蚀等 4.设备造价高 激光束与材料表面的相互作用 激光束照射到材料表面时，与材料间的相互作用根据辐射密度与持续时间分为以下几个阶段： ①激光照射到材料表面； ②激光被材料吸收变为热能； ③表层材料受热升温； ④发生固态转变、熔化甚至蒸发； ⑤材料在激光作用后冷却。 当激光辐射的功率密度与持续时间不变时，上述过程的进展除取决于被处理材料的特性外，还与激光的波长、材料的温度和表面状态等有关。 激光束表面处理 * 电子束表面改性 电子束表面改性的原理： 电子束照射到金属表面时，电子能深入金属表面一定深度，与基体金属的原子核及电子发生相互作用。能量传递主要是通过电子束与金属表层电子碰撞而完成的，所传递的能量立即以热的形式传与金属表层原子，从而使被处理金属的表层温度迅速升高。 电子束表面改性 电子束表面改性的原理： 与激光加热有所不同，电子束加热时